في ورش التصنيع، درجة الحرارة ليست شيئًا يمكن تعديله بسهولة، بل هي معيار يجب الالتزام به. أي تغيير بمقدار 0.5 درجة مئوية قد يؤثر على عرض الخطوط المستخدمة في الإنتاج. كما أن وجود جسيمات ناتجة عن الأجهزة الحرارية قد يدمر الرقائق الإلكترونية. في آلات تصنيع أشباه الموصلات، يلعب النظام الحراري دورًا حاسمًا في تحديد معدل الإنتاج ووقت التشغيل وتكلفة كل رقاقة.
نقوم بتصميم الأنظمة الحرارية بحيث تتوافق مع معايير العملية المطلوبة، وليس مع خصائص اللوحات الإلكترونية. الهدف هو تحقيق توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقات بمقدار ±0.1 درجة مئوية، ونحقق ذلك باستخدام التسخين بالأشعة تحت الحمراء، والنوافذ الكوارتزية، بالإضافة إلى أنظمة قياس درجة الحرارة التي تساعد في السيطرة على درجة الحرارة على سطح الرقاقة، وليس في أجزاء أخرى منها.
يتم تشغيل هذه الأنظمة في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حيث يتم التأكد من عدم وجود أي جسيمات من خلال أنظمة المراقبة المستمرة. كل عملية تسخين، سواء كانت تسخينًا خفيفًا لإزالة المذيبات أو تسخينًا شديدًا لضمان ارتباط المواد مع بعضها، تتم ضمن نطاق حراري محدد. يأتي الاعتمادية على مدار 24 ساعة من استخدام أنظمة استشعار احتياطية وتصميم حراري يساعد في الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة رغم تقلبات جهد الخطوط الكهربائية وتغيرات درجة الحرارة في البيئة المحيطة.
تحتاج أجهزة الطباعة الضوئية إلى استقرار حراري بين الأدوات المختلفة. يوفر نظامنا مستويات تسخين موحدة، مما يقلل من التباين في أبعاد الرقاقات ويقلل من عدد الرقاقات التالفة. وهذا يعني استخدام كميات أقل من المواد الخام، وتقليل النفايات، بالإضافة إلى الحفاظ على معدل إنتاج ثابت.
يقل استهلاك الطاقة لأن التسخين يتم بشكل مباشر باستخدام الأشعة تحت الحمراء، مما يسرع من عملية التسخين مع استخدام كمية صغيرة من الطاقة. في ورش التصنيع التي تستخدم أنواعًا مختلفة من الرقاقات، يمكن لنفس النظام التعامل مع أحجام الرقاقات المختلفة دون الحاجة إلى إعادة تكوين النظام، مما يسهل إدارة قطع الغيار في سلسلة التوريد.
التكامل بين الأنظمة ليس بالأمر السهل. يحتاج النظام إلى مصدر طاقة مخصص، وكابلات خالية من التداخل الكهرمغناطيسي، بالإضافة إلى نظام تهوية مناسب للغرف النظيفة للحفاظ على نظافة البيئة. يجب التخطيط لفترة تشغيل قصيرة لضبط أجهزة قياس درجة الحرارة بما يتناسب مع متطلبات العملية.
بمجرد تركيب النظام، يصبح الأمر بسيطًا: يمكنك الحصول على معدل إنتاج أعلى مقابل استخدام مساحة ميكانيكية أصغر، بالإضافة إلى تقليل التقلبات في درجة الحرارة وضمان وقت تشغيل مستقر.