في أرض الليثوغرافيا
الخبز ليس وقفة—إنه الخط في الرمال. الخبز الناعم يزيل المذيب من الطلاء الضوئي. الخبز الصلب يحتفظ بصورة القناع قبل النقش. إذا بدأت اللمبة في الانحراف، فسوف تدفع ثمن ذلك بسرعة: أبعاد حرجة غير متساوية، حواف غير متساوية، ورواسب بعد التطوير. لهذا السبب توجد لمبة خبز جهاز الطلاء الدوراني—لإزالة التخمين الحراري من المعادلة.
ما يهم تحت الغطاء
لقد قمنا بتصميم لمبة الخبز حول الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة داخل غلاف من الكوارتز، لأنها تضخ الطاقة مباشرة إلى طبقة الطلاء الضوئي، بسرعة. العائد هو تجانس حراري على مستوى الشريحة ضمن ±0.1°C عبر القطر الكامل للطلاء، وقابلية تكرار تحافظ على كل دفعة. زمن الاستجابة أقل من ثانية، لذا تظل الميزانية الحرارية محكمة ويتبع ملف الخبز الوصفة دون تجاوز. تعمل في غرف نظيفة من الفئة 1–100 وتم تصميمها لتوليد جزيئات صفرية—لأنه في هذا العمل، كل عيب في الهواء يؤدي إلى انخفاض العائد.
لماذا تبقى في الإنتاج
في العمليات اليومية، تبقي هذه اللمبة نافذة الخبز حيث ينبغي أن تكون: ضمن المواصفات، وليس بالقرب من الحافة. يصبح الخبز الناعم والخبز الصلب متوقعين، لذا يضيق التحكم في عرض الخط وتصرف الانتقاء للنقش كما تم تصميمه. ينخفض الفاقد وإعادة العمل، وتتوقف عن مطاردة الانحراف بين الورديات. إنها أيضًا فعالة، لأن اللمبة تسخن الهدف، وليس المعدات حولها. بالإضافة إلى عمر الخدمة الطويل، ستحصل على عدد أقل من الاستبدالات الساخنة وأوقات توقف غير مخطط لها أقل.
إليك ما يجب مراقبته
تقدم اللمبة الأداء فقط عندما يبقى المسار البصري نظيفًا والتثبيت يكرر نفس الانحراف البؤري. إذا كانت وعاء الطلاء أو نافذة اللمبة تحمل بقايا، توقع نافذة عملية أكثر إحكامًا—خطط لتنظيف وقائي خلال نافذة الصيانة. تأكد من أن اللمبة تتطابق مع جهد الأداة وموصلها، وتحقق من نقطة ضبط درجة حرارة الوصفة مقابل درجة حرارة الشريحة الفعلية باستخدام خريطة الثيرموكوبل القياسية لديك.