লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, তাপমাত্রার ০.৫°C এর পরিবর্তনেই উপাদানগুলোর আকারে ন্যানোমিটার পরিমাণে পরিবর্তন ঘটে। এর ফলে অনেক অপ্রয়োজনীয় বর্জ্য তৈরি হয়। আমরা ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোকে এয়ার নাইফ ইউনিটের সাহায্যে সঠিক জায়গায় রাখি—ওয়েফারের উপর, সমগ্র ক্ষেত্র জুড়ে।
ইনফ্রারেড হিটিংয়ের নির্ভুলতা: সাব-মিলিমিটার পর্যায়ে একই ধরনের তাপমাত্রা বজায় থাকে। কোয়ার্টজ-ভিত্তিক ডিজাইনটি তাপীয় প্রোফাইলকে স্থিতিশীল ও পুনরাবৃত্তিযোগ্য রাখে; ফলে ওয়েফারের উপর সাব-মিলিমিটার পর্যায়ে একই ধরনের তাপমাত্রা বজায় থাকে।
ইন্টিগ্রেটেড এয়ার নাইফটি ওয়েফারের উপর উচ্চ-গতির বায়ু প্রবাহ সৃষ্টি করে; ফলে ওয়েফার থেকে আর্দ্রতা ও কণাগুলো সরে যায়। এভাবে ক্লাস 1–100 পরিষ্কার ঘরেও এটি ব্যবহার করা যায়, আর কণাগুলোর পরিমাণও কম থাকে।
কেন এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
এই সিস্টেমটি ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য তৈরি করা হয়েছে—সফট বেক, হার্ড বেক, এবং পোস্ট-এক্সপোজার বেক প্রক্রিয়াগুলোর জন্য। এয়ার নাইফটি ফটোরেজিস্ট ফিল্মে দূষণ ঢোকার আগেই সেগুলো সরিয়ে দেয়; আর ইনফ্রারেড হিটিংটি প্রতিবারই কাঙ্ক্ষিত তাপমাত্রা সরবরাহ করে।
ফলাফল: আরও ভালো নিয়ন্ত্রণ, কম পুনরাবৃত্তি, এবং পরিকল্পনামূলক উৎপাদন। এই সিস্টেমটি 5,000+ ঘন্টা ধরে কাজ করতে পারে; আউটপুটে মাত্র 5% এর কম হ্রাস হয়।
ইনস্টলেশন ও অপারেশন সংক্রান্ত নির্দেশাবলী:
ল্যাম্পটি সাধারণ ট্র্যাক টুল ও ওভেন ব্লকে স্থাপন করা যায়; কিন্তু সঠিক অ্যালাইনমেন্ট ও বায়ুপ্রবাহ নিয়ন্ত্রণ জরুরী। এমিটারের উচ্চতা, এয়ার নাইফের দূরত্ব, এবং তাপমাত্রা নির্ধারণে কিছুটা সময় লাগবে।
নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার ক্লিনরুমের চাপ ও এক্সহস্ট সিস্টেমটি অতিরিক্ত বায়ুপ্রবাহ সামলাতে পারে। যদি না পারে, তাহলে মাইক্রো-টার্বুলেন্স সৃষ্টি হবে, যা বেকিং প্রক্রিয়াকে ব্যাহত করবে। নিয়মিতভাবে এমিটারটি ক্যালিব্রেট করুন—প্রক্রিয়ার বিভিন্ন ধাপে একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায় না।