ফ্যাবগুলোকে পরিষ্কার করা: কেন আইআর হিটিংই সঠিক উপায়?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলোতে কার্বন ফুটপ্রিন্ট কমাতে চান, তাহলে পুরানো থার্মাল প্রক্রিয়াগুলো নিয়ে ভাবা দরকার। এগুলো অপ্রচলিত। সবচেয়ে ভালো উপায় হলো সেই পুরানো কনভেকশন ওভেনগুলো বাদ দেওয়া এবং ইনফ্রারেড হিটিং ব্যবহার করা।
বাতাসকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন
প্রচলিত হিটিং পদ্ধতি অপচয়জনক। এটা চেম্বারের ভিতরের বাতাসকে উত্তপ্ত করতে অনেক শক্তি ব্যয় করে। আইআর হিটিং ভিন্নভাবে কাজ করে—এটা ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক রেডিয়েশন ব্যবহার করে সরাসরি ওয়েফার/সাবস্ট্রেটকে উত্তপ্ত করে। এর ফলে উত্তপ্ত হওয়ার সময় কয়েক ঘণ্টা থেকে কয়েক সেকেন্ডে নেমে আসে।
যখন আমরা একটি “গ্রিন ফ্যাক্টরি” তৈরি করি, তখন ব্যাপারটা হলো তরঙ্গদৈর্ঘ্য। শর্ট-ওয়েভ আইআর উপাদানের গভীরে প্রবেশ করে; মিডিয়াম-ওয়েভ ব্যবহার করা হয় পৃষ্ঠের উত্তপ্ত করার জন্য। আমরা এই ডিভাইসগুলোকে ঠিক নির্ধারিত তাপমাত্রায় রাখি; ফলে সাইকেল শেষ হওয়ার সাথে সাথেই শক্তি ব্যবহার বন্ধ হয়ে যায়। কোনো অপচয় নেই।
হার্ডওয়্যারের বাস্তবতা
আমাদের বেশিরভাগ ফ্যাব-গ্রেড ল্যাম্পে হ্যালোজেন ফিলামেন্ট রয়েছে। এগুলো দ্রুত উত্তপ্ত হয়; কিন্তু এগুলো খুব গরম হয়ে যায়। যদি উচ্চ-ওয়াটেজের টিউবগুলোকে সংকীর্ণ জায়গায় রাখা হয়, তাহলে কুলিং ব্যবস্থা অপর্যাপ্ত হয়ে যায়। ফলে ফিলামেন্টগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যায়।
আরেকটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো কানেক্টরগুলো। আমরা নির্ভুল কানেকশন ব্যবহার করি; কারণ দুর্বল কানেকশন থেকে রেজিস্ট্যান্স সৃষ্টি হয়। এই রেজিস্ট্যান্স থেকে তাপ সৃষ্টি হয়, আর এটাই সাধারণত সমস্যার কারণ হয়।
এর ফলে আপনার KPI-গুলোতে কী পরিবর্তন হবে?
আসলে, আইআর হিটিং ব্যবহার করলে প্রতি ওয়েফারে কম kWh শক্তি ব্যবহৃত হয়। এছাড়া, ডিভাইসগুলো কম জায়গা দখল করে; ফলে ক্লিনরুমের জায়গা সাশ্রয় হয়। যদি আপনি পুরানো রেজিস্টিভ হিটারগুলো বাদ দেন, তাহলে আপনি ৩০% থেকে ৫০% পর্যন্ত শক্তি সাশ্রয় করতে পারবেন। এটা কার্বন নিউট্রালিটির দিকে এগিয়ে যাওয়ার একটি সহজ উপায়।