V továrnách na výrobu polovodičů není teplota něčím, co lze jednoduše upravit – je to parametr, kterého se musíme držet. I odchylka o 0,5 °C může ovlivnit šířku linie. Částice z topidel mohou zničit celý polovodič. V zařízeních na výrobu polovodičů rozhoduje o kvalitě výrobků, doby provozu a nákladech na jeden wafer právě termální systém.
Náš design termálních systémů vychází z požadavků procesu, nikoliv z velikosti panelů. Cílem je dosáhnout rovnoměrnosti teploty na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C. Toho dosahujeme pomocí infračerveného záření, kvartových oken a uzavřeného cyklu měření teploty, který reguluje teplotu na povrchu – ne někde uvnitř materiálu.
Systém funguje v čistých prostorách třídy 1–100, přičemž je zajištěna absence částic díky průběžnému monitorování. Každé zahřívání – ať už mírné za účelem odstranění rozpouštědel nebo intenzivnější za účelem zpevnění spojení mezi prvky – probíhá v rámci přesně stanoveného teplotního rozsahu. Spolehlivost po dobu 24 hodin je zajištěna díky redundantním senzorům a termální architektuře, která udržuje nastavenou teplotu i při změnách napětí a okolních podmínek.
Lithografické zařízení potřebují termální stabilitu napříč jednotlivými nástroji. Náš modul umožňuje konzistentní zahřívání fotorezistentů, což snižuje variabilitu jejich vlastností a redukuje počet nutných opakování. To znamená méně oprav, méně odpadu a stabilní produkci.
Spotřeba energie klesá díky tomu, že infračervené záření působí přímo a rychle, přičemž minimálně ovlivňuje hmotnost zařízení. V továrnách s velkým množstvím různých typů waferů umožňuje stejná platforma spravovat více velikostí waferů a různé receptury bez potřeby opětovné kalibrace, což zjednodušuje strategii skladování náhradních dílů v celém dodavatelském řetězci.
Integrace tohoto systému není jednoduchá. Zařízení potřebuje speciální napájení, kabeláž chráněnou před elektromagnetickými rušeními a ventilační systém vhodný pro čisté prostory, aby byla zachována čistota prostředí. Je potřeba plánovat krátký období na kalibraci pyrometru v souladu s požadavky procesu.
Jakmile je systém nasazen, výhody jsou jasné: dostáváte pevnější mechanické parametry, širší prostor pro provoz procesu, méně odchylek a možnost plánování doby provozu.