V prostředí litografie platí známé pravidlo: i odchylka teploty o 0,5 °C může způsobit posun kritických rozměrů o několik nanometrů. To znamená hromadu odpadků v krátkém čase. Vyrobili jsme infračervenou lampu s jednotkou vzduchového nože, která udržuje tepelnou linii přesně tam, kde má být – na waferu, napříč celým povrchem, v každé várce.
Přesnost infračerveného ohřevu: submilimetrová uniformita a opakovatelnost
Systém využívá emitory krátkovlnného infračerveného záření k rychlému předávání energie do fotoresistu. Řízení v uzavřené smyčce udržuje teplotu v rozmezí ±0,1 °C. Konstrukce na bázi kvarcu zajišťuje stabilní a opakovatelný tepelný profil, a submilimetrová uniformita po celém povrchu waferu zvyšuje kvalitu výsledného vzoru.
Integrovaný vzduchový nůž vytváří laminární proud vzduchu vysoké rychlosti na povrchu waferu. Tím odstraňuje vlhkost a částice, aniž by se dotkl samotného waferu. Díky tomu lze pracovat v prostorách s úrovní čistoty 1–100 a snížit počet částic.
Proč se to hodí pro zpracování polovodičů
Tato kombinace je určena k zpracování fotoresistu – pro procesy měkkého, tvrdého sušení a sušení po expozici. Vzduchový nůž odstraňuje nečistoty z povrchu ještě předtím, než se dostanou do filmu, zatímco infračervené teplo dodává potřebnou teplotu pokaždé.
Výsledkem je lepší kontrola kritických rozměrů, méně oprav a spolehlivější výsledky. Jednotka také vydrží dlouhou dobu v provozu – viděli jsme jednotky, které fungovaly více než 5 000 hodin s nižší mírou poklesu výkonu než 5 %.
Pokyny k instalaci a provozu
Lampa se vejde do standardních montážních zařízení, ale je důležité správně ji zarovnat a nastavit průtok vzduchu. Očekávejte krátké období na kalibraci – nastavení výšky emitoru, mezery mezi emitorem a vzduchovým nožem a vytvoření mapy teplot.
Ujistěte se, že tlakový rozdíl a systém odvodu vzduchu v čisté místnosti dokážou zvládnout zvýšený průtok vzduchu. Pokud ne, objeví se mikroturbulence, které naruší konzistentnost procesu. Pravidelně kalibrujte emitory – opakovatelnost v různých fázích procesu nevyplývá náhodou.