Im Bereich der Lithografie reicht bereits eine Temperaturänderung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists aus, um die kritischen Abmessungen um mehrere Nanometer zu verändern – was wiederum zu erheblichen Problemen führen kann. Wir entwickeln Heizgeräte, die genau auf diese Bedingungen abgestimmt sind. Als Lieferant von Halbleiterheizern entwerfen wir thermische Systeme, die die Temperatur der Wafer während des Trocknungsprozesses konstant halten – ohne dass dadurch die Reinheit der Klasse 1–100 beeinträchtigt wird.
Was wirklich wichtig ist:
Wir streben eine thermische Homogenität auf Waferniveau von ±0,1 °C an – gemessen direkt an der Prozessoberfläche, nicht irgendwo innerhalb des Heizers. Schnell reagierende Kurzwellen- oder Mittelwellenelemente sorgen dafür, dass die Temperaturstabilität gewahrt bleibt. Zudem verhindern Quarz- und hochreine Keramikkomponenten jegliche Gasentwicklung sowie Partikelemissionen. Eine reinigungsgeeignete Befestigung sowie abgeschirmte Leitungen tragen dazu bei, dass die Partikelzahl im Reinraum im Rahmen bleibt. Der Regelkreis ist so abgestimmt, dass jeder Trocknungsprozess genauso abläuft wie der vorherige – Batch für Batch.
In großen Produktionsstätten reduziert die Reproduzierbarkeit des Trocknungsprozesses die Notwendigkeit von Nacharbeiten sowie Abweichungen in der Linienbreite. Eine höhere Homogenität bedeutet weniger Randfehler und eine bessere Prozesseffizienz. Eine stabile, reproduzierbare Temperaturregelung verkürzt außerdem die Qualifizierungszyklen und senkt den Energieverbrauch, indem sie Überhitzungen und unnötige Ausgleichsvorgänge vermeidet.
Diese Heizgeräte funktionieren rund um die Uhr mit geringem Wartungsaufwand – somit kommt es nicht zu unplanmäßigen Stillständen mitten im kontinuierlichen Produktionsprozess.
Ein paar praktische Hinweise:
Diese Geräte sind für bestimmte Abmessungen der Behälter sowie für bestimmte Spannungsklassen konzipiert. Wenn man sie in einen Mechanismus einsetzt, der nicht dafür vorgesehen ist, geht die Homogenität verloren – und es besteht das Risiko, dass die Reinheit der Schnittstelle beeinträchtigt wird. Bestellen Sie daher Geräte mit genau festgelegten Abmessungen, Anschlussarten und Spannungswerten. Planen Sie außerdem nach der Installation eine schnelle Temperaturmessung, um die optimale Einstellung sicherzustellen.