בחדרי הייצור, הטמפרטורה אינה דבר שניתן לשלוט בו באמצעות מנוף – זו ערך שצריך לעמוד בו. שינוי של 0.5°C יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים שנוצרים. חלקיקים שמגיעים מהחימום יכולים לפגוע במוצר הסופי. במכונות לייצור שבבים, המערכת התרמית קובעת באופן אוטומטי את שיעור ההצלחה, את זמן הפעולה ואת העלות לכל שבב.
אנו עוצבים את המערכות התרמיות על סמך טווח הטמפרטורות הרצוי, ולא על סמך גודל הפאנל. היעד הוא אחידות של ±0.1°C ברמת השבב, ואנו משיגים זאת באמצעות חימום באמצעות אור NIR, חלונות קוורץ ומערכות מדידה ששולטות בטמפרטורה בפני השטח – ולא בתוך החומר עצמו.
המערכת פועלת בחדרי ייצור נקיים מסוג Class 1–100, כאשר אין שום יצירה של חלקיקים, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב בזמן אמת. כל תהליך חימום – בין אם חימום קל להוצאת חומרים מסיסים ובין אם חימום חזק לחיזוק ההדבקה – נעשה בתוך טווח טמפרטורות צר. אמינות לאורך 24 שעות נובעת משימוש בחיישנים רבים וממערכת תרמית ששומרת על הטמפרטורה הרצויה למרות שינויים במתח החשמלי ובטמפרטורת הסביבה.
במערכות ליתוגרפיה, יש צורך באחידות תרמית בין הכלים השונים. המערכת שלנו מספקת פרופילי חימום אחידים, מה שמפחית את השונויות ברוחב השבבים ומקטין את מספר השבבים שצריך להחזיר לייצור. כתוצאה מכך, יש פחות עבודה חוזרת, פחות פסולת, וקצב ייצור יציב.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהחימום נעשה ישירות באמצעות אור NIR, וכך ניתן להגדיל את מהירות החימום עם צריכת אנרגיה מינימלית. במפעלים שמייצרים מגוון רחב של שבבים, אותה מערכת יכולה לעבוד עם שבבים בגדלים שונים, מבלי צורך בהתאמות נוספות. זה מקל על ניהול החלקים הנדרשים בשרשרת האספקה.
האינטגרציה של המערכת אינה פשוטה. המערכת דורשת אספקת חשמל ייעודית, כבלים נקיים מהפרעות אלקטרומגנטיות, ומערכת אוורור שתשמור על רמת ניקיון גבוהה. יש לתכנן זמן קצר להפעלת המערכת, כדי ליישר את קליברציית החיישנים עם ההגדרות הרצויות.
לאחר שהמערכת כבר פועלת, היתרונות ברורים: ניתן לקבל שליטה טובה יותר על התהליך, פחות שינויים בטמפרטורה, וזמן פעולה צפוי.