בחדרי הייצור, שינוי של 0.2°C בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט עלול לפגוע באחידותו של הצילום, וזה יקרה לפני שנוכל לראות זאת בגרפים. יצרנו את החימם של דיודות הלייזר שלנו כדי לעצור את השינויים האלו בשלב מוקדם, מכיוון שבתחום זה, בקרת הטמפרטורה אינה רק מערכת תמיכה – היא חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו.
דיוק אינפרא-אדום: אחידות ברמה של פחות ממילימטר, עם אפשרות לחזרה על התהליך
אנו משלבים פלט אינפרא-אדום עם חימום של הווהר באמצעות אנרגיה נמוכה, כך שהשדה התרמי נשאר יציב – ברמה של פחות ממילימטר – וההבדלים בין הקצוות למרכז פוחתים. בכל אזור הפעילה, ניתן להשיג אחידות ברמה של ±0.1°C, והתהליך ניתן לחזרה עליו מדגם לדגם.
התגובה של המערכת מהירה וצפויה, כך שהפרופילים של החימום נשארים בתוך הטווח המוגדר, ללא חריגות. אין צורך בתיקונים תמידיים.
למה זה עובד בתהליכי ליתוגרפיה וחימום פוטורזיסט
בתהליכי ליתוגרפיה, התנהגות הפוטורזיסט נקבעת על ידי ההיסטוריה של הטמפרטורות, ולא רק על ידי הערך המוגדר במסך. החימם של דיודות הלייזר שלנו שומר על יציבות זו, מה שמפחית את השינויים ברוחב הקווים ומגן על השכבות החשובות ביותר.
המערכת פועלת בחדרי ייצור נקיים מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים, ועם מסלול אופטי סגור. כך, אין אפשרות לזיהום שיפגע בתהליך. התוצאה: פעולה עקבית 24/7, צריכת אנרגיה נמוכה יותר, וצורך מופחת בחלפים – מבלי לפגוע באיכות החימום.
התקנה ותאימות: תכנון לפי התנאים האמיתיים
המערכת נועדה להתחבר למערכות הקיימות לחימום הווהר, אך עדיין נדרשת התאמה מדויקת והתקנה בחדרי ייצור נקיים. הביצועים התרמיים תלויים בהגדרה נכונה של האמיטנס ובשליטה בטמפרטורת הסביבה.
צפו לתקופת הכנה קצרה כדי לאשר את ההגדרות ולוודא את האחידות. לאחר הכיול, התהליך נשאר עקבי – ללא צורך בתיקונים תמידיים.