फैब्रिकेशन लाइनों पर, तापमान कोई ऐसी चीज़ नहीं है जिसे मनमाने ढंग से समायोजित किया जा सके; बल्कि यह एक ऐसा मापदंड है जिसका पालन अवश्य करना होता है। 0.5°C का भी अंतर, वेफर की चौड़ाई को प्रभावित कर सकता है। हीटर से निकलने वाले कण भी वेफर को नष्ट कर सकते हैं। सेमीकंडक्टर मशीनरी में, थर्मल मॉड्यूल ही उत्पादन दर, मशीन की उपलब्धता एवं प्रति वेफर लागत का निर्धारण करता है।
हम थर्मल सिस्टमों को प्रक्रिया-संबंधी मापदंडों के आधार पर ही डिज़ाइन करते हैं, न कि पैनलों के आधार पर। लक्ष्य है कि वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। इसे हासिल करने हेतु हम NIR विकिरण, क्वार्ट्ज विंडोज़, एवं क्लोज्ड-लूप पाइरोमेट्री का उपयोग करते हैं; ताकि सतह पर ही तापमान नियंत्रित रहे।
यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूम्स में ही काम करता है; इनलाइन मॉनिटरिंग के द्वारा यह सुनिश्चित किया जाता है कि कोई कण भी न बने। प्रत्येक बेकिंग प्रक्रिया – चाहे वह घोल हटाने हेतु हो या चिपों को ठीक से जोड़ने हेतु – एक निश्चित तापमान-सीमा के भीतर ही होती है। 24 घंटों तक स्थिरता बनाए रखने हेतु रिडंडेंट सेंसरों एवं ऐसी थर्मल व्यवस्थाओं का उपयोग किया जाता है, जो लाइन वोल्टेज में होने वाले बदलावों एवं आसपास के वातावरणीय परिवर्तनों के बावजूद भी तापमान को नियंत्रित रखती हैं।
लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, विभिन्न उपकरणों एवं प्रक्रियाओं में भी तापमान में स्थिरता आवश्यक है। हमारा मॉड्यूल सुसंगत फोटोरेजिस्ट बेकिंग प्रक्रियाएँ प्रदान करता है; जिससे CD में होने वाले अंतर कम हो जाते हैं, एवं अनावश्यक कार्य भी कम हो जाते हैं। इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, कचरा कम हो जाता है, एवं उत्पादन दर स्थिर रहती है।
ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है; क्योंकि NIR विकिरण सीधे ही तापन करता है, एवं बेकार ऊर्जा का उपयोग नहीं होता। हाई-मिक्स फैब्रिकेशन लाइनों में, एक ही प्लेटफॉर्म पर विभिन्न आकारों एवं विशेषताओं वाले वेफरों का उत्पादन किया जा सकता है; जिससे सप्लाई चेन में आवश्यक भागों की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
इस सिस्टम को एकीकृत करना आसान नहीं है। इसके लिए विशेष बिजली आपूर्ति, EMI-रहित केबलिंग, एवं क्लीनरूम-योग्य एक्जॉस्ट सिस्टम आवश्यक हैं। पाइरोमीटर के कैलिब्रेशन को अपनी प्रक्रियाओं के अनुरूप करने हेतु एक सीमित समयावधि आवश्यक है।
एक बार यह सिस्टम स्थापित हो जाने के बाद, फायदा स्पष्ट है – अधिक स्थिरता, कम विचलन, एवं नियोजित उपलब्धता।