फैब्रिकेशन लेवल पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में होने वाली तापीय विचलनें कोई सैद्धांतिक समस्या नहीं हैं… बल्कि ये उत्पादन दक्षता के लिए खतरनाक हैं। 0.5°C की भी विचलन से महत्वपूर्ण आयामों में बदलाव हो जाता है… और ऐसी स्थिति में लैंप को लगातार सेटपॉइंट तक पहुँचने हेतु मिनटों तक काम करना पड़ता है। हमने लैंप सिस्टमों हेतु एक SCR पावर रेगुलेटर बनाया, ताकि ऐसी विचलनें शुरू ही न हों।
तकनीकी दृष्टि से, यह रेगुलेटर “फेज-एंगल कंट्रोल” पर आधारित है… एवं इसमें कम EMI है। यह लैंप की ऊर्जा को स्थिर रखता है… एवं आसपास के चरणों में कोई शोर नहीं फैलता। यह हैलोजन, क्वार्ट्ज, शॉर्ट-वेव, मीडियम-वेव एवं कार्बन-फाइबर लैंपों के साथ भी काम कर सकता है… एवं लाइन/लोड की स्थितियों में बदलाव होने पर भी आउटपुट को स्थिर रखता है।
व्यावहारिक रूप से, इसका अर्थ है कि फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया नियमित रहती है… एवं वेफरों पर तापमान की विचलनें ±0.1°C के भीतर ही रहती हैं। यह रेगुलेटर “क्लीनरूम नियमों” के अनुरूप ही काम करता है… एवं इसके उपयोग से कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता।
यह रेगुलेटर काम क्यों करता है? क्योंकि यह प्रक्रिया-नियंत्रण प्रदान करता है… जिसे मापा जा सकता है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में विचलनें कम हो जाती हैं… इसलिए “स्ट्रिप-एंड-रीकोट” प्रक्रिया की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। तापीय स्थिरता के कारण प्रत्येक बेक साइकल जल्दी ही पूरा हो जाता है… एवं कोई विचलन नहीं होता।
ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि यह रेगुलेटर लैंप की ऊर्जा को सटीक रूप से नियंत्रित करता है… कोई अतिरिक्त ऊर्जा खर्च नहीं होता। इसका परिणाम यह है कि प्रदर्शन नियमित रहता है… कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती… एवं वेफरों पर प्राप्त परिणाम भी सुसंगत रहते हैं।
कुछ व्यावहारिक सुझाव: यह रेगुलेटर अधिकांश मानक लैंपों के साथ काम करता है… लेकिन लैंप के “कोल्ड रेजिस्टेंस” एवं “इनरश कंडक्टिविटी” को समायोजित करना आवश्यक है… ताकि नियंत्रण स्थिर रहे। आपको अपने विशिष्ट लैंप एवं तापीय स्थितियों हेतु PID लूप को समायोजित करने होगा… वरना सेटपॉइंट बदलने पर थोड़ी विचलनें हो सकती हैं।
उचित ऊष्मा-निकासी हेतु योजना बनाएं… एवं इस रेगुलेटर को विषाक्त गैसों से दूर रखें। एक बार यह ठीक से सेट हो जाने के बाद, यह सिस्टम 5,000+ घंटों तक लगातार काम कर सकता है… एवं आउटपुट में 5% से भी कम विचलन होता है… इसलिए आपका तापीय बजट सुरक्षित रहता है।