आईआर का उपयोग करके प्रभावी फोटोरेजिस्ट सुखाना
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का ही अंतर पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। “सॉफ्ट बेक” का उद्देश्य विलायकों को...
स्पिन कोटर बेक लैंप
लिथोग्राफी फ्लोर पर, बेक रुकावट नहीं है—यह स्पष्ट सीमा है। सॉफ्ट बेक फोटोरेसिस्ट सॉल्वेंट को उड़ाता है। हार्ड बेक मास्क इमेज को एचिंग से पहले लॉक...