Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita
Quando si riscaldano i wafer semiconduttori, non basta pensare soltanto al termostato. In un ambiente di classe 100, anche una singola particella di polvere proveniente dagli elementi di riscaldamento può rovinare l’intero lotto di prodotti. È davvero un incubo.
Ecco perché per le nostre lampade a infrarossi utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza. Il vetro standard o i materiali economici non sono adatti: tendono a rilasciare gas o a frantumarsi quando diventano caldi. Non vogliamo assolutamente che queste particelle finiscano sui wafer.
Perché utilizziamo il quarzo ad alta purezza
Le nostre lampade emettono radiazioni a onde corte. Lo scopo è far sì che il calore raggiunga direttamente il wafer. Se ci si affida alla convezione, in realtà si creano delle correnti d’aria che sollevano particelle di polvere. Utilizzando il quarzo fuso, invece, possiamo mantenere il calore concentrato e la struttura stabile.
È possibile regolare la potenza e la tensione in base allo spazio disponibile. Attenzione: se si sceglie una potenza più elevata per ottenere una maggiore densità di calore, bisogna assicurarsi che i fan di raffreddamento siano in grado di far fronte a tale carico. Se l’area intorno alla lampada diventa troppo calda, questa si brucerà molto prima del previsto.
Costruzione per ambienti puliti
Abbiamo eliminato ogni tipo di colla e rivestimento organico. Perché? Perché questi materiali producono fumo e si decompongono sotto l’effetto del calore. Invece, utilizziamo sigilli meccanici per garantire una tenuta ermetica. Niente colla, niente disordine, e nessuna emissione di composti organici volatili durante il funzionamento della lampada.
Un aspetto da considerare è il cablaggio: di solito è qui che nascono i problemi. Utilizziamo terminali precisi per garantire una connessione perfetta e impermeabile. Se una connessione è difettosa, si creano dei punti caldi, che possono causare la rottura del quarzo. In tal caso, l’integrità del vuoto o dell’ambiente pulito andrà persa.
I punti critici
Il problema è che il quarzo ad alta purezza è fragile. Resiste meglio agli shock termici rispetto al borosilicato, ma se viene urtato durante l’installazione, si romperà.
Utilizzate sempre guanti adatti all’uso in ambienti a vuoto.
Anche una piccola quantità di olio cutaneo sul quarzo può causare la formazione di macchie di carbonio. Queste macchie creano dei “punti caldi”, e alla fine la lampada smetterà di funzionare. È un piccolo errore che può causare grandi problemi.