Lampada a infrarossi a onde corte semiconduttore
Sulla linea di litografia, il tempo non è mai a tuo favore. Una soft bake che devia anche di 2°C altera l’evaporazione del solvente, modifica il...
Riscaldatore a infrarossi a onda media per wafer
Sul pavimento, la linea è in funzione. Le celle di litografia fanno cicli di wafer attraverso soft bake e hard bake, e i setpoint di temperatura sono...