코팅기 개발용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C의 온도 변동도 결코 ‘작은 편차’가 아닙니다. 이는 생산성 저하로 이어지며, CD 균일성 그래프나 스크랩 트레이를 통해 명확하게 확인할 수 있습니다. 코팅기/개발기의 적외선 히터는 광학 장치와 포...