Op de lithografievloer is tijd nooit in je voordeel. Een soft bake die zelfs 2°C afwijkt, verstoort de verdamping van het oplosmiddel, verandert de...

Op de vloer zoemt de lijn. Lithografiecellen voeren wafers door soft bake en hard bake, en de temperatuurinstellingen zijn vergrendeld. Enkele graden...