W hali produkcyjnej temperatura nie jest czymś, co można łatwo zmienić – to wartość, którą trzeba przestrzegać. Nawet niewielka odchylka o 0,5°C może wpłynąć na szerokość linii produkcyjnych. Cząsteczka pochodząca z grzejnika może zniszczyć elementy elektroniczne. W urządzeniach do produkcji półprzewodników to właśnie moduły termiczne decydują o jakości produktu, czasie jego funkcjonowania oraz koszcie na jeden płytkę.
Projektujemy systemy termiczne w oparciu o specyfikacje procesu, a nie samego urządzenia. Celem jest zachowanie jednolitości temperatury na poziomie ±0,1°C na poziomie całej płytki. Osiągamy to dzięki ogrzewaniu promieniowemu typu NIR, szybkomu kwarcowemu oknu oraz systemowi pomiaru temperatury w zamkniętym obiegu, który kontroluje temperaturę na powierzchni płytki, a nie gdzieś w jej wnętrzu.
Urządzenie może pracować w pomieszczeniach klasy czystości 1–100, przy czym ilość cząstek jest zminimalizowana dzięki ciągłemu monitorowaniu. Każde procesowanie płytek – zarówno delikatne, jak i intensywne – odbywa się w ramach określonego zakresu temperatury. Niezawodność urządzenia przez 24 godziny zapewniają redundantne czujniki oraz specjalna architektura termiczna, która utrzymuje stałą temperaturę pomimo fluktuacji napięcia i otoczenia.
W laboratoriach litograficznych konieczna jest spójność termiczna pomiędzy różnymi urządzeniami. Nasze module zapewniają stałe parametry ogrzewania fazowego, co redukuje zmiany w parametrach płytek i zmniejsza liczbę nieudanych próbek. To oznacza mniej przeróbek, mniej odpadów oraz stabilną wydajność produkcji.
Koszt energii jest niższy, ponieważ ogrzewanie typu NIR działa bezpośrednio, szybko i przy minimalnej liczbie cząstek w powietrzu. W halach produkcyjnych, gdzie produkowane są różne rodzaje płytek, ta sama platforma może być używana do obróbki różnych rozmiarów płytek bez konieczności ponownej kalibracji, co upraszcza logistykę części zamiennych w całym łańcuchu dostaw.
Integracja tego urządzenia nie jest prosta. Wymaga ono dedykowanego źródła zasilania, kabli wolnych od zakłóceń elektromagnetycznych oraz systemu odpylania odpornego na warunki panujące w pomieszczeniu. Należy zaplanować krótki okres kalibracji, aby dostosować parametry pomiaru temperatury do specyfikacji procesu.
Gdy urządzenie jest już w użyciu, korzyści są oczywiste: otrzymujemy większą swobodę w dostosowaniu parametrów procesu, mniej awarii oraz możliwość planowania czasu pracy urządzenia.