Na área de litografia, uma variação de 0,5°C durante o processo de secagem não é considerada uma “pequena desviation”. Na verdade, isso significa perda de qualidade do produto final – algo que pode ser visto claramente no gráfico de uniformidade do CD e também nos resíduos gerados durante o processo. Os aquecedores infravermelhos utilizados nos equipamentos de revestimento e desenvolvimento precisam manter a estabilidade térmica em harmonia com os componentes ópticos e o fotorelevo.
Construímos esses aquecedores com foco no controle em nível de wafer. O array de emissores de luz infravermelha transfere energia diretamente para o wafer, permitindo assim ciclos mais rápidos, sem que haja aumento excessivo da temperatura na câmara de processamento. A uniformidade na superfície do wafer permanece dentro de ±0,1°C, ou seja, as áreas periféricas do wafer recebem o mesmo tratamento térmico que a área central.
O hardware é adequado para uso em salas limpas: seus componentes são revestidos de quartzo, e seu design permite baixa emissão de gases, o que o torna adequado para ambientes de classe 1–100. As partículas ficam em seu lugar, graças às conexões seladas e aos caminhos de fluxo de ar que impedem que detritos entrem em contato com o filme. A repetibilidade é garantida pelo controle em circuito fechado na superfície do wafer, e não por suposições sobre o funcionamento do aquecedor.
Nos equipamentos de revestimento e desenvolvimento, tempo e temperatura são fatores cruciais. Os aquecedores infravermelhos reduzem o tempo de secagem sem causar superaquecimento, permitindo assim ciclos mais rápidos, mantendo ao mesmo tempo o controle das dimensões críticas do produto. Isso significa menos necessidade de retrabalho e ajustes nas máscaras de impressão.
Além disso, isso também ajuda a reduzir os custos energéticos. Como a energia é direcionada diretamente para o wafer, há menos calor desperdiçado no próprio equipamento. Em termos práticos, a confiabilidade do sistema está relacionada ao tempo em que ele fica funcionando – o sistema opera 24/7, com períodos de manutenção previsíveis, evitando assim interrupções que possam prejudicar o processo de produção.
A instalação depende dos detalhes: é necessário adaptar a interface do equipamento às condições específicas do local, além de verificar se a tensão elétrica e o sistema de refrigeração são adequados. O aquecedor funciona melhor em condições de ar seco e limpo, além de tensão elétrica estável; flutuações na tensão podem causar atrasos nos processos rápidos.
Enviamos um kit de calibração e modelos de procedimentos para os fotorelevos mais comuns. No entanto, o ajuste final deve ser feito com base nas medições e nos testes realizados em lotes de produtos reais.