На этапе литографии отклонение температуры в размере 0,5°C в процессе мягкой или жесткой обработки не является «незначительным». Это приводит к снижению качества изделий — это видно по графикам однородности толщины пленки и по количеству бракованных деталей. Инфракрасные нагреватели должны обеспечивать стабильную температуру, соответствующую параметрам оптических устройств и фоторезиста.
Мы разработали этот нагреватель с учетом возможности контроля температуры на уровне самого кристалла. Массив инфракрасных излучателей направляет энергию непосредственно на кристалл, что позволяет достигать быстрого нагрева без перегрева всей камеры. Однородность температуры на поверхности кристалла остается в пределах ±0,1°C — это значит, что детали, расположенные по краям, получают такой же профиль нагрева, как и детали в центре.
Оборудование готово к использованию в чистых помещениях: элементы нагревателя выполнены из кварца, а конструкция обеспечивает минимальное выделение газов, что позволяет использовать его в условиях классов чистоты 1–100. Частицы остаются на своих местах благодаря герметичным соединениям и правильной организации потоков воздуха. Повторяемость результатов обеспечивается за счет замкнутого контроля на поверхности кристалла, а не за счет угадывания параметров нагревателя.
В процессе нанесения фоторезиста время и температура являются важными факторами. Инфракрасный нагреватель сокращает время обработки без перегрева, что позволяет ускорить процесс при сохранении контроля за критическими размерами. Профиль пленки остается стабильным от партии к партии, что снижает количество необходимых корректировок.
Это также способствует снижению расходов на электроэнергию. Поскольку энергия направляется непосредственно на кристалл, избыточное тепло в корпусе оборудования снижается. Надежность оборудования определяется временем его работы: система может работать 24/7 с предсказуемыми периодами обслуживания, что исключает непредвиденные простои.
Установка оборудования требует внимания к деталям: необходимо соответствовать интерфейсу оборудования, а также учитывать характеристики электроснабжения и системы охлаждения. Нагреватель требует чистого, сухого воздуха и стабильного напряжения; колебания напряжения могут замедлить процесс нагрева.
Мы поставляем кит для калибровки и шаблоны для настройки параметров работы с различными видами фоторезистов. Однако окончательная настройка должна проводиться с учетом результатов измерений и характеристик используемых материалов.