ในโรงงานผลิตชิป อุณหภูมิไม่ใช่สิ่งที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามใจชอบ แต่เป็นค่าที่ต้องปฏิบัติตามอย่างเคร่งครัด การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลให้ความกว้างของแถบสัญญาณเปลี่ยนแปลงได้ นอกจากนี้ อนุภาคที่เกิดจากเครื่องทำความร้อนก็อาจทำลายชิปได้เช่นกัน ในเครื่องจักรสำหรับการผลิตชิป ระบบควบคุมอุณหภูมิมีบทบาทสำคัญในการกำหนดประสิทธิภาพการผลิต ระยะเวลาการทำงาน และต้นทุนต่อแผ่นชิป
เราออกแบบระบบควบคุมอุณหภูมิโดยคำนึงถึงช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการผลิต โดยมีเป้าหมายให้อุณหภูมิบนแผ่นชิปมีความสม่ำเสมอในช่วง ±0.1 องศาเซลเซียส เราบรรลุเป้าหมายนี้ได้ด้วยการใช้ระบบการให้ความร้อนแบบ NIR หน้าต่างทำจากควอตซ์ และระบบวัดอุณหภูมิแบบลูปปิดที่สามารถควบคุมอุณหภูมิบนพื้นผิวได้ ไม่ใช่ในส่วนอื่นของชิป
ระบบนี้ทำงานในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีการตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีอนุภาคใดเกิดขึ้นเลย การอบชิปแต่ละครั้ง ไม่ว่าจะเป็นการอบเพื่อกำจัดสารละลายหรือการอบเพื่อเสริมความแข็งแรงของชิป ก็จะถูกทำซ้ำภายในช่วงอุณหภูมิที่กำหนดไว้ ความน่าเชื่อถือของระบบนี้อยู่ที่การมีเซ็นเซอร์สำรอง และระบบควบคุมอุณหภูมิที่สามารถรักษาค่าอุณหภูมิไว้ได้ แม้ในสถานการณ์ที่แรงดันไฟฟ้าเปลี่ยนแปลงหรืออุณหภูมิภายนอกเปลี่ยนแปลงไปก็ตาม
ในโรงงานที่มีการผลิตชิปหลายชนิด ระบบนี้สามารถใช้กับแผ่นชิปขนาดต่างๆ ได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม ซึ่งช่วยให้การจัดการส่วนประกอบต่างๆ ในห่วงโซ่อุปทานง่ายขึ้น
การอินทิเกรตระบบนี้ไม่ใช่เรื่องง่าย โดยระบบนี้ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสม สายไฟที่ปลอดจากสัญญาณรบกวน และระบบระบายอากาศที่มีมาตรฐานเพื่อรักษาความสะอาด ควรมีเวลาสำหรับการตั้งค่าระบบให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิต
เมื่อระบบนี้ถูกนำมาใช้งานแล้ว ข้อดีก็คือ คุณจะได้รับช่วงอุณหภูมิที่แคบลง แต่ก็สามารถทำให้กระบวนการผลิตมีความแม่นยำมากขึ้น ลดการเกิดข้อผิดพลาด และสามารถวางแผนเวลาการทำงานได้อย่างแม่นยำ