ลองดูวิธีการทำให้แผ่นวัสดุ Micro LED แห้งหลังจากการล้างสุดท้าย โดยแผ่นวัสดุนั้นจะถูกวางไว้เพื่อรอให้แห้ง ในกระบวนการผลิต คุณก็รู้ดีว่าสิ่งต่างๆ อาจเปลี่ยนแปลงไปได้อย่างรวดเร็ว หากอุณหภูมิของเครื่องทำความร้อนเปลี่ยนแปลงไปเพียงเล็กน้อย ก็จะทำให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น มีหยดน้ำค้างอยู่ตามขอบแผ่นวัสดุ รูปแบบของสารฟอโตเรซิสต์เปลี่ยนไป และผลลัพธ์การผลิตก็จะไม่ดีเท่าที่ควร ดังนั้นเราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนสำหรับแผ่นวัสดุ Micro LED ขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนเหล่านี้
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง เครื่องนี้ใช้หัวฉายอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งอยู่หลังกระจกควอตซ์ ทำให้เกิดการทำความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และสามารถทำให้แผ่นวัสดุเย็นลงได้อย่างรวดเร็วเช่นกัน อุณหภูมิของแผ่นวัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.1°C ซึ่งช่วยให้หยดน้ำค้างหายไปได้อย่างสมบูรณ์ และทำให้รูปแบบของสารฟอโตเรซิสต์คงที่ในแต่ละครั้งที่มีการผลิต
เครื่องนี้ถูกออกแบบมาสำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดก๊าซ และมีระบบการไหลเวียนอากาศที่ไม่ทำให้เกิดฝุ่น พวกเราไม่ได้มุ่งเน้นไปที่สโลแกนเท่านั้น แต่เรามุ่งเน้นไปที่การลดการเกิดฝุ่นให้เหลือศูนย์ สามารถนำเครื่องนี้มาใช้กับเครื่องมือต่างๆ ได้เลย โดยมีตัวเลือกแรงดันไฟฟ้ามาตรฐาน และมีขนาดที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานร่วมกับหุ่นยนต์และเครื่องมือวัดต่างๆ
ทำไมเครื่องนี้ถึงเหมาะสำหรับการผลิต Micro LED ในการผลิต Micro LED นั้น อุณหภูมิมีความสำคัญมาก และไม่สามารถมีข้อผิดพลาดใดๆ ได้เลย เครื่องนี้ช่วยให้อุณหภูมิคงที่ตลอดกระบวนการผลิต ทำให้ไม่มีปัญหาเรื่องความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ทำให้เกิดข้อผิดพลาดได้ เมื่อกระบวนการผลิตสามารถทำซ้ำได้ ก็จะทำให้เวลาในการผลิตลดลง และลดปริมาณวัสดุที่เสียหายไปได้
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องนี้จะทำความร้อนเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น และสามารถทำงานได้อย่างรวดเร็ว ความน่าเชื่อถือของเครื่องนี้สูงมาก เพราะใช้ชิ้นส่วนที่มีอายุการใช้งานยาวนาน และมีช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่แน่นอน ดังนั้นจึงไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
ข้อควรระวังเล็กน้อย คุณจะได้ประสิทธิภาพที่ดีที่สุดเมื่อท่อระบายอากาศสอดคล้องกับระบบของเครื่องมือ หากมีความดันอากาศที่ไม่สอดคล้องกัน ก็จะทำให้เวลาในการทำความร้อนนานขึ้น และอาจส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้ การติดตั้งเครื่องนี้ก็ต้องให้ขนาดของ Chuck และอินเตอร์เฟซการเชื่อมต่อสอดคล้องกับเครื่องมือที่ใช้ด้วย
มีช่วงเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับแต่งสูตรการผลิตให้เหมาะสมกับขนาดของแผ่นวัสดุและสารละลายที่ใช้ หลังจากนั้นกระบวนการผลิตก็จะดำเนินไปได้อย่างราบรื่น โดยมีการหยุดทำงานน้อยลง