ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องความผันผวนของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบฟอโตเรซิสต์ไม่ใช่เรื่องที่ควรกังวลเพียงในแง่ทฤษฎีเท่านั้น...

บนพื้นโรงงาน การอบ photoresist ด้วยความร้อนไม่ใช่เรื่องเลือกทำหรือไม่ทำ—แต่เป็นค่าความคลาดเคลื่อนที่ต้องยอมรับ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.5°C...