Üretim alanında sıcaklık, ayarlanabilecek bir değer değildir; bunun yerine uyulması gereken bir standarttır. 0,5°C’lik bir değişiklik bile hat genişliğini etkileyebilir. Isıtıcıdan çıkan parçacıklar ise yarı iletken ürünlerin bozulmasına neden olabilir. Yarı iletken ekipmanlarında termal sistemler, verimliliği, çalışma süresini ve her wafer için gereken maliyeti belirler.
Termal sistemleri, paneller yerine işlem koşullarına göre tasarlarız. Hedef, wafer düzeyinde ±0,1°C’lik bir düzgünlüktür. Bunu, NIR radyasyonlu ısıtma, kuvars pencereler ve yüzey sıcaklığını kontrol eden kapalı döngülü termometreler sayesinde sağlarız.
Bu sistemler, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır ve içeride hiçbir partikül oluşmaması için sürekli izleme yapılır. Her türlü ısıtma işlemi, belirlenen sıcaklık aralığında tekrarlanır. 24 saat boyunca güvenilir çalışma, yedek sensörler ve sabit sıcaklık kontrolü sayesinde mümkün olur.
Litografide farklı araçlar arasında termal tutarlılık çok önemlidir. Sistemimiz, tutarlı fotorezist ısıtma profilleri sağlar; bu da CD değişikliklerini azaltır ve işlem sayısını düşürür. Bu sayede daha az yeniden işlem gerekliliği, daha az atık ve istikrarlı bir üretim hızı elde edilir.
Enerji tüketimi ise düşüktür; çünkü NIR ısıtma doğrudan ısı sağlar ve minimum enerji harcanır. Çok çeşitli ürünlerin üretildiği tesislerde, aynı platform farklı wafer boyutları ve formüllerle çalışabilir; bu da tedarik zincirindeki yedek parça stratejisini basitleştirir.
Entegrasyon ise o kadar da basit değildir. Ünite için özel bir güç kaynağı, EMI’den arındırılmış kablolar ve partikül kontrolünün sağlanması için temiz oda standartlarına uygun bir havalandırma sistemi gerekir. Termometrenin kalibrasyonunu formüllerinizle uyumlu hale getirmek için kısa bir kurulum süresi planlanmalıdır.
Bir kez kurulduktan sonra işler oldukça basit hale gelir: Daha geniş bir işlem aralığı, daha az sapma ve planlanabilir bir çalışma süresi elde edilir.