Fab zemininde, foto direnç pişirme isteğe bağlı değildir - bu, uyulması gereken bir toleranstır. Wafer üzerindeki 0.5°C’lik bir kayma, pozlamadan sonra hat genişliği değişikliği olarak ortaya çıkar ve bu da verim kaybına dönüşür, açık ve basit. Fab IR için voltaj regülatörümüzü, termal profilin ihtiyaç duyduğu yerde kalmasını sağlamak için inşa ettik: stabil, tekrarlanabilir ve kontrol altında.
Teknik olarak önemli olan IR hızlı ısınır, bu doğru, ancak ısı alanı uniform olmadıkça faydalı değildir. Regülatörümüz, IR émitör hattında sıkı voltaj kontrolü sağlar, bu nedenle çıkış, hat sarkması ve yük değişimi olmasına rağmen sabit kalır. Sıcak alan boyunca sub-milimetre uniformluğu elde edersiniz ve wafer düzleminde ±0.1°C ayar noktası stabilitesi sağlanır. Bu bir slogan değildir - bu, termal gradyanda ölçülebilir bir kesintidir. Birim, 1-100 Sınıfı için temiz oda uyumlu olup, parçacık sayısını azaltmak için malzeme ve ambalaj seçilmiştir. Sıfır parçacık üretimi hedefidir ve bunu süreç içi izleme ile takip ediyoruz.
Pratikte neden işe yarar Yumuşak pişirme ve sert pişirme tahmin edilebilir hale gelir. Aynı tarif, aynı gün, aynı vardiya, aynı termal sonuç. Bu tekrarlanabilirlik, atıkları azaltır, nitelik döngülerini kısaltır ve gelişmiş düğümlerde termal bütçenizi korur. Enerji kullanımı da düşer - stabil regülasyon aşımı önler ve émitörü planlanan verimliliğinde çalıştırır. Termal kaymadan kaynaklanan plansız duraklamalar olmadan 24/7 güvenilirliğe güvenebilirsiniz.
Bilmeniz gerekenler Kurulum basittir, ancak IR yükü regülatörün akım derecesi ile eşleşmelidir. Émitör direncini ve hattın düzenini doğrulayın; uzun besleme hatları, sizi zor durumda bırakabilecek parazitik etkiler oluşturabilir. Regülatör etrafında uygun termal yönetim planlayın ve yerel sıcak noktalardan kaçınmak için mesafeleri koruyun. Regülatörü émitör ile eşleştirin ve süreç spesifikasyonda kalır.