На виробничій лінії температура не є параметром, який можна легко налаштувати – це стандарт, якого необхідно дотримуватися. Навіть зміна температури на 0,5°C може повлинути на ширину продукту. Частинка з нагрівача може пошкодити кристал. У обладнанні для виробництва напівпровідників саме термічна система визначає рівень продуктивності, час роботи та вартість одного пластинчатого кристала.
Ми проєктуємо термічні системи з урахуванням умов процесу, а не окремих елементів обладнання. Ціллю є досягнення однорідності температури на рівні пластинчатого кристала в межах ±0,1°C. Цього досягається за допомогою інфрачервоного опромінювання, кварцових вікон та систем контролю температури, які забезпечують контроль температури на поверхні, а не всередині кристала.
Обладнання працює у чистих кімнатах класу 1–100, де рівень забруднення дорівнює нулю, що підтверджується постійним контролем. Кожен етап обробки – від повільного нагрівання для видалення розчинників до швидкого нагрівання для забезпечення міцності з’єднань – відбувається в межах строгих термічних параметрів. Надійність протягом 24 годин забезпечується за рахунок резервних вимірювальних пристроїв та термічної архітектури, яка забезпечує стабільність температури незалежно від коливань напруги та зовнішніх умов.
У літографічних системах необхідна термічна стабільність між різними пристроями та етапами обробки. Наш модуль забезпечує стабільні параметри нагріву фоточутливих матеріалів, що зменшує варіації параметрів кристалів та кількості відхилень. Це означає менше необхідності переробки продукції, менше відходів та стабільну продуктивність.
Використання енергії зменшується завдяки тому, що інфрачервоне опромінювання діє безпосередньо, що дозволяє швидко нагріти обладнання з мінімальними втратами енергії. У заводах з виробництва різноманітної продукції одна і та сама платформа може обробляти пластинчаті кристали різного розміру та за різними технологіями, без необхідності повторної налаштування обладнання. Це спрощує стратегію управління запасами обладнання в усій ланцюгу постачання.
Інтеграція обладнання не є простою справою. Обладнанню потрібен окремий джерело живлення, кабелі, стійкі до електромагнітних перешкод, а також система відведення повітря, яка забезпечує чистоту середовища. Необхідно передбачити короткий період налагодження для налаштування параметрів пірометра відповідно до технологічних процедур.
Як тільки обладнання встановлено, все стає простіше: ви отримуєте більш стабільні умови процесу, менше відхилень та можливість планувати час роботи обладнання.