لیتھوگرافی کے عمل میں، آپ جانتے ہی ہیں کہ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں 0.5°C کا فرق پڑنے سے ڈائمینشنز میں نینومیٹر کی سطح پر تبدیلی واقع ہو جاتی ہے۔ اس سے بہت زیادہ فضلہ پیدا ہوتا ہے۔ ہم نے انفراریڈ لیمپ کے ساتھ ایئر نائف یونٹ بھی استعمال کیا، تاکہ حرارتی سطح کو وہیں رکھا جاسکے، یعنی ویفر پر، اور ہر شفٹ میں اس کی سطح مستحکم رہے۔
انفراریڈ حرارت دینے کی درستگی: سب-ملی میٹر کی سطح پر یکسانیت اور دہرائی کی صلاحیت۔
یہ سسٹم شارٹ-ویو NIR ایمیٹرز کا استعمال کرتا ہے، تاکہ توانائی کو فوری طور پر فوٹوریزسٹ میں منتقل کیا جاسکے۔ کلوزڈ-لوپ کنٹرول کی بدولت درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے۔ کوارٹز پر مبنی ڈیزائن کی بدولت حرارتی سطح مستحکم رہتی ہے، اور ویفر پر سب-ملی میٹر کی سطح پر یکسانیت برقرار رہتی ہے، جس سے پیٹرن کی درستگی بہتر ہوتی ہے۔
ایئر نائف، سطح پر ایک لیمینار، اعلی رفتار والا بلیڈ پیدا کرتا ہے؛ یہ نمی اور ذرات کو ویفر کو چھوئے بغیر ہی ہٹا دیتا ہے۔ اس طرح کلاس 1–100 کے کلین روموں میں بھی کام کیا جاسکتا ہے، اور ذرات کی تعداد کو کم رکھا جاسکتا ہے۔
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لئے مناسب ہونے کی وجوہات:
یہ سسٹم فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ کے لئے بنایا گیا ہے – نرم بیکنگ، سخت بیکنگ، اور ایکسپوزر کے بعد کی پروسیسنگ۔ ایئر نائف، فوٹوریزسٹ کی سطح سے آلودگیوں کو ہٹا دیتا ہے، جبکہ انفراریڈ حرارت، ہر بار مطلوبہ حرارتی سطح فراہم کرتی ہے۔
اس کے نتیجے میں CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، ریورک کم ہوتا ہے، اور پروڈکشن کی شرح بہتر ہوتی ہے۔ یہ یونٹ، 5,000 گھنٹوں تک کام کرنے کے بعد بھی 5% سے کم کمی کے ساتھ کام کرتا رہتا ہے۔
نصب اور آپریشن سے متعلق نوٹس:
لیمپ کو معیاری ٹریک ٹولز اور اوون بلاکس میں نصب کیا جاسکتا ہے، لیکن الائنمنٹ اور ایئر فلو کی ترتیب بہت اہم ہے۔ ایمیٹر کی اونچائی، ایئر نائف کا فاصلہ، اور درجہ حرارت کی سطح کو درست کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔
یقین کریں کہ آپ کے کلین روم میں دباؤ کا فرق اور ایگزاسٹ سسٹم، اضافی ایئر فلو کو سنبھال سکتا ہے۔ اگر ایسا نہیں ہے، تو مائکرو-ٹربولنس پیدا ہوگی، جس سے بیکنگ کی درستگی متأثر ہوگی۔ اور یاد رکھیں کہ ایمیٹر کی باقاعدگی سے کیلیبریشن ضروری ہے؛ پروسیسنگ کے مختلف مراحل میں یکسانیت صرف اتفاقیہ طور پر حاصل نہیں ہوتی۔