دیکھیں کہ مائکرو ایل ای ڈی ویفر کو آخری دھونے کے بعد وہاں رکھا گیا ہے، تاکہ وہ خشک ہو سکے۔ پروڈکشن لائن پر، چیزیں کتنی جلدی بگڑ سکتی ہیں، یہ تو آپ جانتے ہی ہیں۔ اگر ہیٹر کی درجہ حرارت چند درجے بھی بدل جائے، تو ویفر کے کناروں پر موجود بوندیں باقی رہ جاتی ہیں، فوٹوریزسٹ کے نمونے بگڑ جاتے ہیں، اور لیتھوگرافی شروع ہونے سے پہلے ہی پیداوار میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔ ہم نے مائکرو ایل ای ڈی ویفر کو خشک کرنے والے ہیٹر کو اسی مسئلے کو حل کرنے کے لئے ڈیزائن کیا ہے۔
اس ڈیوائس کے اندر کیا ہے؟
یہ ڈیوائس کوارٹز کی کھڑکیوں کے پیچھے موجود شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر کے ذریعہ کام کرتی ہے، جس کی وجہ سے تیز رفتار حرارت فراہم ہوتی ہے، اور ڈیوائس جلدی ٹھنڈی بھی ہو جاتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ اسی وجہ سے ویفر کے کناروں پر موجود بوندیں صاف ہو جاتی ہیں، اور فوٹوریزسٹ کے نمونے ہر بار یکساں رہتے ہیں۔
یہ ڈیوائس کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق بنائی گئی ہے؛ یعنی اس میں گیسوں کا اخراج کم ہے، اور ہوا کا بہاؤ ایسا ہے کہ کوئی ذرہ بھی حرکت نہیں کرتا۔ ہم صرف صفر ذرات کے اخراج کا ہی ہدف رکھتے ہیں۔ یہ ہیٹر ٹریک ٹولز اور الگ الگ ڈرائنگ سیلز میں استعمال کیا جا سکتا ہے؛ اس کے علاوہ، اس میں معیاری وولٹیج کے اختیارات بھی موجود ہیں، اور اس کا سائز ایسا ہے کہ روبوٹکس اور میٹرولوجی کے لئے بھی جگہ باقی رہتی ہے۔
مائکرو ایل ای ڈی پروڈکشن کے لئے یہ ڈیوائس کیوں مناسب ہے؟
مائکرو ایل ای ڈی میں حرارتی توازن بہت اہم ہے، اور یہاں کسی قسم کی آلودگی کی گنجائش نہیں ہے۔ یہ ڈرائر، نرم اور سخت حرارتی عملوں کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے، جس کی وجہ سے حرارتی عدم یکسانیت کی وجہ سے کوئی مسئلہ پیدا نہیں ہوتا۔ جب یہ عمل ہر بار یکساں ہوتا ہے، تو پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور فضول مال کی مقدار بھی کم ہو جاتی ہے۔
توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ یہ سسٹم صرف مطلوبہ علاقے کو ہی گرم کرتا ہے، اور بوجھوں کے درمیان تیزی سے تبدیلی لاتا ہے۔ اس ڈیوائس کی قابل اعتمادی 24/7 کام کرنے کے لئے بہترین ہے؛ اس کے اجزاء طویل عمر اور قابل پیشن گوئی دیکھ بھال کے لئے منتخب کئے گئے ہیں، تاکہ کوئی غیرمتوقع بندش نہ ہو۔
کچھ عملی نکات:
بہترین کارکردگی کے لئے، ایگزاسٹ پاتھ کو ٹول کے ڈکٹنگ سسٹم سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ اگر بیک پریشر مناسب نہ ہو، تو سیٹلمنٹ کا وقت بڑھ جاتا ہے، اور ذرات کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔ انسٹالیشن کے دوران، چک کا سائز اور کنیکٹر انٹرفیس کو اپنے ٹریک یا ڈرائنگ پلیٹ فارم سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔
سولوینٹ مکس اور ویفر کے سائز کے لئے ترتیبات کو درست کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ ایک بار یہ ترتیبات درست ہو جائیں، تو پروسیسنگ میں کم رکاوٹیں آتی ہیں۔