Trên sàn sản xuất, một sai lệch nửa độ trong quá trình soft bake hoặc hard bake đủ để phá hủy việc kiểm soát chiều rộng đường mạch và độ đồng đều CD. Ngân sách nhiệt không có chỗ thương lượng. Khi đèn RTP không đạt tiêu chuẩn, bạn không chỉ mất tiền mua đèn mà còn mất chi phí cho phế phẩm và làm lại.
Chúng tôi chế tạo đèn RTP — sóng ngắn, sóng trung và dựa trên sợi carbon — để giữ độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ cửa sổ quy trình ở mức wafer. Các bộ phận thạch anh và cụm lắp kín giữ cho việc sinh hạt ở mức không, giúp bạn duy trì trong phòng sạch tiêu chuẩn Class 1–100. Công suất đầu ra giữ ổn định trong phạm vi 2% sau hơn 5.000 giờ hoạt động, và tốc độ tăng nhiệt nhanh giữ cho các công thức sản xuất có năng suất cao vận hành liên tục mà không ảnh hưởng đến tính lặp lại. Kết nối chính xác và trở kháng phù hợp cho phép đèn này lắp trực tiếp vào các nền tảng RTP của AMAT, Applied Materials, TEL và các hệ thống tương tự.
Trong quá trình lithography và xử lý photoresist, nhiệt độ soft bake và hard bake ổn định chuyển thành ít khuyết tật hơn, phân bố CD chặt chẽ hơn và tỷ lệ sản phẩm đạt ngay lần đầu cao hơn. Bạn duy trì cửa sổ quy trình trong phạm vi thông số kỹ thuật, giảm thiểu việc kiểm tra lại metrology và giảm số lần dừng máy không kế hoạch. Hiệu quả năng lượng đến từ hoạt động ở điện áp thấp và đầu ra quang phổ được tối ưu — bạn giảm tiêu thụ điện trong khi vẫn giữ phản ứng nhiệt ở mức yêu cầu, từ đó giảm chi phí vận hành cùng với giá thay thế đèn.
Việc lắp đặt đơn giản, nhưng việc kết nối nhiệt và vị trí đèn phải phù hợp với hình dạng buồng phản ứng. Sau khi thay thế, cần kiểm tra lại các thiết lập phát xạ và hiệu chỉnh bù trừ — ngay cả đèn có độ chính xác cao cũng sẽ hoạt động kém nếu vòng phản hồi cảm biến bị lệch. Lên kế hoạch thay đèn trong các khoảng thời gian bảo trì định kỳ để tránh trôi công thức và duy trì thời gian hoạt động ổn định.