Làm sạch nhà máy sản xuất bán dẫn: Tại sao việc sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại là giải pháp tốt nhất?
Nếu bạn muốn giảm lượng khí thải carbon trong quy trình sản xuất bán dẫn, bạn cần xem xét lại các phương pháp sưởi ấm truyền thống. Những phương pháp này đã lỗi thời rồi. Giải pháp tốt nhất chính là loại bỏ những lò sưởi truyền thống và thay thế chúng bằng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại.
Ngừng việc sưởi ấm không cần thiết
Cách sưởi ấm truyền thống rất lãng phí năng lượng. Năng lượng được sử dụng để làm nóng không khí bên trong buồng sản xuất, chỉ để làm nóng vật liệu cần xử lý. Đó là cách sử dụng năng lượng một cách lãng phí.
Ngược lại, công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại hoạt động khác biệt. Nó sử dụng bức xạ điện từ để truyền năng lượng trực tiếp vào vật liệu cần xử lý. Điều này giúp giảm thời gian sưởi ấm từ vài giờ xuống còn vài giây.
Khi xây dựng một nhà máy xanh, yếu tố quan trọng nhất chính là bước sóng của tia hồng ngoại. Tia hồng ngoại bước sóng ngắn có thể xâm nhập sâu vào bên trong vật liệu; còn tia hồng ngoại bước sóng trung bình thì phù hợp để sấy khô bề mặt vật liệu. Chúng ta có thể điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác, và ngay khi quy trình kết thúc, việc tiêu thụ năng lượng cũng ngừng lại. Không còn sự lãng phí năng lượng nữa.
Thực tế về thiết bị
Hầu hết các bóng đèn dùng trong nhà máy sản xuất bán dẫn đều sử dụng vỏ bằng thạch anh kèm với sợi halogen. Chúng mang lại hiệu suất cao, nhưng có một nhược điểm: chúng tỏa nhiệt rất nhiều.
Nếu bạn đặt những bóng đèn công suất cao vào một không gian hẹp, bạn không thể bỏ qua vấn đề làm mát. Các quạt thông gió và bộ trao đổi nhiệt cần phải hoạt động hiệu quả, nếu không sợi halogen sẽ bị cháy sớm.
Một chi tiết quan trọng nữa chính là các đầu nối. Chúng ta cần sử dụng các đầu nối chính xác, vì nếu đầu nối lỏng lẻo, nó sẽ tạo ra sức cản. Sức cản này sẽ chuyển thành nhiệt, và đó chính là nguyên nhân khiến các bộ phận bị hỏng.
Ý nghĩa của việc này đối với các chỉ số hiệu suất của bạn
Cuối cùng, việc chuyển sang sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại giúp giảm lượng năng lượng tiêu thụ cho mỗi tấm wafer. Thiết bị này cũng chiếm ít diện tích hơn. Điều này có nghĩa là bạn cần ít không gian hơn để duy trì môi trường kiểm soát nhiệt độ, và đó chính là một lợi ích lớn.
Nếu bạn thay thế những bộ sưởi ấm truyền thống bằng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, bạn có thể giảm lượng năng lượng tiêu thụ từ 30% đến 50%, tùy thuộc vào quy trình sản xuất của bạn. Đó là cách đơn giản để đạt được mục tiêu giảm khí thải carbon mà không làm chậm quá trình sản xuất.