Trên bề mặt wafer, các hồ sơ nướng photoresist được đo bằng độ, không phải bằng ý kiến. Một sự sai lệch 2°C trong quá trình nướng mềm hoặc nướng cứng sẽ làm sai lệch kiểm soát kích thước quan trọng—và dây chuyền sản xuất sẽ dừng lại. Chúng tôi đã tích hợp dây điện gia nhiệt cách điện bằng Teflon để duy trì kiểm soát nhiệt độ ở nơi cần thiết: bên trong cửa sổ quy trình.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật là Teflon cung cấp độ bền điện môi ổn định và độ thoát khí thấp dưới tác động của chu kỳ nhiệt lặp lại. Điều này quan trọng khi bộ gia nhiệt hoạt động với chu kỳ công suất cao và phải tương thích với luồng không khí trong phòng sạch và ngân sách hạt.
Chúng tôi tính toán hình học của dây dẫn để giảm thiểu sụt áp trên những đoạn dài, để bộ gia nhiệt nhận được điểm thiết lập, không phải là tổn thất. Các bộ gia nhiệt hồng ngoại—halogen, quartz, sóng ngắn, sóng trung bình, và sợi carbon—hoạt động trên ngân sách nhiệt chặt chẽ. Dây điện phải luôn sạch; không có gợn sóng hoặc tiếng ồn có thể xuất hiện dưới dạng tiếng ồn nhiệt độ trên wafer.
Đây là lý do tại sao nó hoạt động trong quá trình quang khắc và xử lý photoresist. Dây điện giữ cho việc cung cấp điện cho bộ gia nhiệt ổn định, do đó nhiệt độ nướng mềm và nướng cứng lặp lại trong giới hạn chặt chẽ, hỗ trợ tính đồng nhất nhiệt độ ở cấp độ wafer. Trong các phòng sạch Class 1–100, cấu trúc này giảm thiểu sự phát sinh hạt và chịu được tiếp xúc với hóa chất trong quá trình làm sạch và làm khô wafer.
Lợi ích là giảm số sự kiện trôi nướng, ít phế phẩm hơn, và các khoảng thời gian bảo trì có thể lập kế hoạch—thay vì thời gian ngừng hoạt động bất ngờ.
Một số điều cần lưu ý. Cách điện Teflon có khả năng chống hóa chất, nhưng nó sẽ bị mài mòn ở các cạnh sắc. Lập kế hoạch cho kẹp và hình học đường đi trong quá trình lắp đặt, và bảo vệ dây dẫn nơi nó đi qua các thiết bị cố định.
Khớp đầu nối với đầu nối bộ gia nhiệt của bạn, và xác nhận đánh giá điện áp và dòng điện so với chu kỳ hoạt động thực tế của quy trình của bạn. Chu kỳ nhiệt thay đổi ứng suất theo cách mà trạng thái ổn định không bao giờ làm được.