用于晶圆的精密红外传感器

停止浪费能源：更智能的晶圆加工方式 让我们来谈谈传统的电阻式加热器吧。虽然它们确实能起到加热作用，但实际上不过就是巨大的取暖设备而已。为了把晶圆加热到合适的温度，人们不得不耗费大量能源来加热整个腔室以及其中的空气。这显然是一种浪费。 因此，我们转而使用红外线加热技术。与其加热整个房间，不如直接将热...