Jak vysušit plochy MEMS bez komplikací
Při výrobě senzorů typu MEMS rozhodně nechcete, aby vám náhodná kapka vlhkosti nebo skvrna rozpouštědla zkazily celý proces výroby. Ale je tu problém – musíte tyto plochy udržet zcela suché, aniž byste poškodili samotný materiál nebo dovolili, aby se do nich dostaly nečistoty.
Proto používáme ohřívače na krátkovlnné infračervené záření. Místo toho, abychom snažili se ohřát celou místnost – což je plýtvání časem a energií – infračervené záření posílá energii přímo na povrch plochy. Je to efektivní a čisté řešení.
Proč to funguje
Vzpomeňte si na tradiční konvekční troubu – ta vynakládá polovinu své energie na ohřev vzduchu. Je to neefektivní. Infračervené záření je jiné – vysílá fotony, které způsobují vibrace molekul vody, což urychluje proces odpařování. Protože je teplo tak cílené, nemusí být zařízení obrovské. Navíc, když průmysl přechází od látek s vysokým obsahem organických rozpouštědel na efektivnější řešení, infračervené záření prostě dává smysl. Nepotřebujete chemické katalyzátory ani obrovské systémy pro proudění vzduchu, které vždycky způsobují únik částic na špatná místa.
Rovnováha
Není to jen otázka zvyšování teploty. Musíme být opatrní s jejím postupným zvyšováním. Lampy s vysokou intenzitou jsou skvělé na urychlení procesu, ale existuje jeden problém – pokud je poloha lampy trochu špatná nebo kontrola napájení nepřesná, vzniknou „horká místa“. Na ploše o velikosti 300 mm to může způsobit pokroucení nebo poškození citlivých struktur MEMS.
Aby se to nestalo, spojujeme ohřívače s přesnými regulátory typu PID. Obvykle také používáme vakuum nebo inertní plyn, aby plocha neoxidovala. Jde o kontrolu.
Přizpůsobení systému vaší výrobní lince
Tyto systémy jsme navrhli tak, aby nahradily staré, nefunkční tepelné trouby. Používáme kvartové obaly, aby se kovy nedostaly na povrch ploch. Vedení elektrod je také efektivní – systém se může zapnout a vypnout během několika milisekund. Nemusíte se tedy obávat, že plocha překročí svou cílovou teplotu a poškodí celou várku.
A když lampa konečně selže? Nemusíte demontovat celou sušicí linku. Stačí vyměnit modul a pokračovat v práci.