http://radiant-ir-heater.com/cs/tags/fotorezistent/ Recent content in Fotorezistent on Radiant Infrared Heating Hugo cs Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Účinné vypalování fotorezistentu pomocí IR"></p> <p>V prostředí litografie stačí odchylka <a href="https://henruite.com">teploty</a> během procesu zahřívání o 0,5 °C k zničení celé série waférů. Měkké zahřívání slouží k čištění rozpouštědel, zatímco tvrdé zahřívání slouží k ustálení požadovaného profilu teploty. Když dojde k nerovnoměrnosti teploty, kontrola rozměrů waférů selže a počet částic v nich vzroste.</p> <p><strong>Co jsme vyvinuli a proč je to důležité</strong><br> Instalovali jsme modul zahřívání na emitery krátkovlnného infračerveného záření s termickým systémem založeným na kvarcu. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na úrovni waféru v rozsahu ±0,1 °C po celé ploše čepele. Stabilita nastavených hodnot teploty je také vysoká – trvá celý den. Modul je kompatibilní s čistými prostory od třídy 1 do třídy 100 a během procesu zahřívání neuvolňuje žádné částice. Termální profily fotorezistentů jsou stabilní mezi jednotlivými sériemi waférů, přičemž teplotní profily přesně odpovídají specifikacím.</p>