http://radiant-ir-heater.com/cs/tags/hlin%C3%ADk/ Recent content in Hliník on Radiant Infrared Heating Hugo cs Sun, 28 Jun 2026 01:46:53 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 01:46:53 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Hliníkový reflektor pro IR čelovku"></p> <p>V prostředí lithografie platí určitá pravidla. Už poloviční odchylka o půl stupně během zahřívání fotorezisty stačí k tomu, aby se stabilní proces změnil v problém s kvalitou výsledku. Specifikace pro měkké a tvrdé zahřívání jsou stanoveny právě proto – rovnoměrnost teploty totiž určuje šířku linií na povrchu waferu. A tato kontrola začíná už u systému infračervených lamp.</p> <p><strong>Co je vlastně důležité</strong> U infračervených lamp stanovujeme parametry hliníkového reflektoru tak, aby poskytoval teplo, které je reprodukovatelné a rovnoměrné v prostoru. Geometrie reflektoru je upravena tak, aby osvětlovací profil <a href="https://o-yate.net">odpov</a>ídal požadavkům waferu – rovnoměrnost teploty činí ±0,1 °C. Povrch reflektoru je pasivován a uzavřen, takže může být použit v čistých prostorách třídy 1–100 bez rizika uvolňování plynů.</p>