http://radiant-ir-heater.com/cs/tags/p%C5%99%C3%ADsp%C4%9Bvek/ Recent content in Příspěvek on Radiant Infrared Heating Hugo cs Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Infračervený ohřívač waferu po čištění"></p> <p>V prostoru výroby se po čištění objeví malé množství vlhkosti a znovuvznikající oxidy, které naruší přilnavost fotorezisty, aniž byste si to vůbec všimli. Stačí jeden pomalý nárůst teploty nebo jedna „hotspot“ a celý proces zpracování fotorezistu selže. Následky se projeví později – ztráta struktury po leptání, problémy při litografii. Vytvořili jsme infračervený ohřívač určený k použití po čištění, aby se tato nejistota odstranila.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> Ohřívač využívá krátkovlnné infračervené emitery, které procházejí optickou cestou bez obsahu křemíku – takže se nevytvářejí žádné částice. To umožňuje udržet teplotu na potřebné úrovni pro provoz v čistých prostorách třídy 1–100. Rozptyl teploty po povrchu čipu zůstává na úrovni ±0,1 °C, takže parametry zpracování fotorezistu zůstávají konstantní v každé sérii výroby. Reakce ohřívače je rychlá, takže lze regulovat teplotu bez překročení limitů. Ohřívač podporuje jak <a href="https://o-yate.net">standardn</a>í, tak i intenzivnější režimy zpracování fotorezistu. Lze ho snadno integrovat do celkového systému sušení.</p>