V provozu výroby není termální posun během zahřívání fotorezistu jen teoretický problém – jedná se o faktor, který ničí kvalitu výrobků. Odchylka 0,5...

Na výrobní ploše není pečení fotorezistu volitelné – je to tolerance, podle které se musí pracovat. Posun teploty o 0,5 °C přes wafer se projeví jako...