http://radiant-ir-heater.com/cs/tags/to%C4%8Dit/ Recent content in Točit on Radiant Infrared Heating Hugo cs Sun, 07 Jun 2026 01:32:58 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:58 +0800 http://radiant-ir-heater.com/cs/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Pecní lampa rotačního potahovače"></p> <p>Na lithografické části provozu není bake pauzou – je to jasná hranice. Soft bake odpařuje rozpouštědlo z fotoresistu. Hard bake zafixuje obraz masky před leptáním. Pokud lampa začne driftovat, projeví se to rychle: nerovnoměrná kritická dimenze, okrajový rámeček a zbytky po vývoji. Proto existuje bake lampa ve spin coaterech – aby odstranila nejistoty v tepelném procesu.</p> <p><strong>Co je klíčové pod povrchem</strong><br> Bake lampa je postavena na krátkovlnném infračerveném záření v křemenné baňce, protože energii přímo a rychle předává do vrstvy fotoresistu. Výsledkem je tepelná uniformita na úrovni waferu v rozmezí ±0,1°C během celého pracovního průměru a opakovatelnost mezi jednotlivými šaržemi. Doba odezvy je pod jednu sekundu, takže tepelný rozpočet je přesný a profil pečení se drží receptury bez překmitu. Funguje v čistých prostorách třídy 1–100 a je navržena tak, aby nezpůsobovala žádné uvolňování částic – protože v tomto oboru každý letecký defekt znamená snížení výtěžnosti.</p>