Verhindern Sie Schäden durch Splitter: Wie man die Wafer sauber hält, wenn Infrarotheizungen versagen
Seien wir ehrlich: Bei der Verarbeitung von Wafern kann bereits ein defekter Heizstrahl Ihren ganzen Arbeitstag ruinieren – und auch Ihre gesamte Charge an Siliziumwafern.
Wenn Sie hohe Produktionsraten erreichen wollen, belasten Sie die Infrarotheizungen stark. Wenn eine Quarztube versagt, ist das kein „leiser“ Defekt – es entsteht Chaos. Überall fliegen Glassplitter und andere Partikel herum. Plötzlich müssen Sie enorme Reinigungsarbeiten durchführen – und viel Geld wird verschwendet.
Wie wir solche Defekte verhindern
Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, warum diese Tuben eigentlich versagen. Meistens liegt es an einer schwachen Abdichtung oder ungleichmäßiger Erwärmung, die Stresspunkte erzeugen.
Um das zu beheben, verwenden wir hochreinen geschmolzenen Quarz. Dieser kann die Wärmerekrussion besser bewältigen. Außerdem achten wir darauf, wo sich der Glühfaden befindet. Indem wir die Wärmebelastung ausbalancieren, reduzieren wir den Druck auf die Endkappen. So wird verhindert, dass die Tuben wie bei billigen Lampen versagen.
Vorbereitung auf das Schlimmste
Selbst mit dem besten Quarz können Probleme auftreten. Man muss davon ausgehen, dass irgendwann etwas kaputtgehen wird. Deshalb setzen wir einen physischen Schutzring um die Heizelemente – man kann das als speziellen Schutz oder eine Hochtransmissions-Qwartschicht betrachten. Wenn die innere Lampe kaputtgeht, fängt der Schutzring die Splitter auf. Dadurch bleiben die Wafer sauber. Das ist im Grunde eine Art Versicherung für Ihre Reinraumumgebung.
Das Problem der Hitze
Es gibt ein Gegenüber: Man möchte schnelle Aufwärmzeiten – das bedeutet hohe Wärmedichte. Doch wenn man zu viel Leistung in eine kurze Tube steckt, entstehen Hotspots. Das ist genau da, wo viele Leute Fehler machen. Wenn die Kühlfans und der Luftstrom nicht richtig eingestellt sind, bleibt die Wärme in der Umgebung. Irgendwann verschleißen die Anschlüsse, es entstehen elektrische Entladungen – und alles geht schief. Stellen Sie daher den Luftstrom richtig ein – sonst suchen Sie nur Ärger.
Einfache Handhabung
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie einfach einzusetzen sind. Sie können direkt als Ersatz verwendet werden – man muss keine ganze Anlage neu aufbauen. Zudem haben wir die Kontakte verstärkt. Sie bewegen sich nicht, wenn die Maschinen vibrieren. Noch ein Tipp: Nutzen Sie dazu einen präzisen PID-Regler. Dadurch werden die Spannungsspitzen beim Start abgemildert – gerade dann, wenn die Quarztuben besonders anfällig sind.