http://radiant-ir-heater.com/de/tags/aluminium/ Recent content in Aluminium on Radiant Infrared Heating Hugo de Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800 http://radiant-ir-heater.com/de/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800 http://radiant-ir-heater.com/de/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Aluminium Reflektor für IR Lampe"></p> <p>Auf der Lithografieanlage gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von einem halben Grad wä<a href="https://henruite.com">hrend</a> des Trocknungsprozesses des Fotolacks <a href="https://o-yate.com">reicht</a> aus, um einen stabilen Prozess in ein Problem zu verwandeln. Die Spezifikationen bezüglich der Temperatur während des Trocknungsprozesses werden deshalb streng eingehalten – schließlich bestimmt die Temperaturhomogenität die Genauigkeit der Linienbreite. Diese Kontrolle beginnt bereits bei dem IR-Lampensystem.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong> Wir wählen Aluminiumbeschichtungen für die IR-Lampen aus, damit eine wiederholbare und räumlich stabile Wärmeabgabe gewährleistet wird. Die Geometrie der Lampen ist so gestaltet, dass das Beleuchtungsprofil exakt auf die Waferfläche abgestimmt ist – mit einer Homogenität von ±0,1°C. Die Oberfläche ist außerdem passiviert und versiegelt, sodass sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden kann, ohne dass es zu Ausgasungen kommt.</p>