Auf der Lithografieebene reicht bereits eine Abweichung der Backtemperatur um 0,5 °C aus, um ganze Chargen unbrauchbar zu machen. Bei der sanften...

Auf dem Lithografie-Boden ist das Backen keine Unterbrechung – es ist die klare Grenze. Softbake treibt das Lösungsmittel im Photoresist aus....