http://radiant-ir-heater.com/de/tags/gegen/ Recent content in Gegen on Radiant Infrared Heating Hugo de Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800 http://radiant-ir-heater.com/de/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800 http://radiant-ir-heater.com/de/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Infrarot gegen Konvektion bei der Trocknung von Wafern"></p> <p>In den Fertigungsanlagen ist der thermische Fehler keine „Toleranz“, mit der man verhandeln kann. Eine Abweichung von 0,5 °C während des Weichbrennvorgangs des Photoresists reicht bereits aus, um die kritischen Dimensionen zu beeinflussen. Zudem kann etwas Restfeuchtigkeit nach der <a href="https://henruite.com">Reinigung</a> später zu Problemen in der nächsten Lithografiephase führen. Konvektionsöfen helfen dabei, thermische Verzögerungen sowie Temperaturunterschiede zwischen den Schichten zu reduzieren. Infrarotstrahlung kann eine gute Lösung sein – doch nur dann, wenn sie entsprechend den Anforderungen an Halbleiterproduktionen gestaltet wird, und nicht einfach nur als Wärmequelle verwendet wird.</p>