IR on Radiant Infrared Heating

Keramische Endkappe für IR Emitter

Sat, 25 Jul 2026 02:53:25 +0800

Mehr Wärme genau dort, wo sie wirklich gebraucht wird: Mit Gold beschichtete IR-Emitter
Wenn man Siliziumwafers erhitzt, zählt jede Energieeinheit. Das Problem bei herkömmlichen IR-Emittern ist, dass sie Energie verlieren – ein großer Teil der Wärme entweicht einfach von hinten aus der Lampe. Dadurch wird Energie verschwendet und die Maschine unnötig überhitzt.

Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir den Quarzkern mit Gold beschichtet haben.
Warum Gold? Weil Gold hervorragend in der Reflexion von Infrarotstrahlung ist. Aluminium oder poliertes Stahl können dem nicht standhalten. Durch die Goldbeschichtung wird die Wärme wieder in Richtung der Wafer zurückgelenkt. So erhalten Sie höhere Oberflächentemperaturen, ohne die Leistung der Stromversorgung erhöhen zu müssen. Es ist einfach effizienter.

Präziser IR Sensor für Wafer

Sat, 25 Jul 2026 02:32:29 +0800

Aufhören mit dem Heizen der Luft – eine intelligente Methode zur Bearbeitung von Wafern
Sprechen wir über die alten Widerstandsofen. Sie funktionieren zwar, aber im Grunde handelt es sich dabei um riesige Raumheizungen. Man muss viel Geld ausgeben, um den gesamten Raum sowie die darin befindliche Luft zu erhitzen – nur damit der Wafer die richtige Temperatur erreicht. Das ist pure Verschwendung.

Deshalb haben wir auf Infrarotheizung umgestellt. Anstelle dazu, den ganzen Raum zu erwärmen, strahlen wir die Wärme direkt auf den Wafer ab. Dadurch wird weniger Energie verschwendet, und außerdem wird verhindert, dass der Reinraum unnötig Energie verbraucht.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800

Auf der Lithografieanlage gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses des Fotolacks reicht aus, um einen stabilen Prozess in ein Problem zu verwandeln. Die Spezifikationen bezüglich der Temperatur während des Trocknungsprozesses werden deshalb streng eingehalten – schließlich bestimmt die Temperaturhomogenität die Genauigkeit der Linienbreite. Diese Kontrolle beginnt bereits bei dem IR-Lampensystem.

Was wirklich wichtig ist Wir wählen Aluminiumbeschichtungen für die IR-Lampen aus, damit eine wiederholbare und räumlich stabile Wärmeabgabe gewährleistet wird. Die Geometrie der Lampen ist so gestaltet, dass das Beleuchtungsprofil exakt auf die Waferfläche abgestimmt ist – mit einer Homogenität von ±0,1°C. Die Oberfläche ist außerdem passiviert und versiegelt, sodass sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden kann, ohne dass es zu Ausgasungen kommt.

Wirksames Erhitzen des Fotolacks mit Infrarotstrahlen

Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800

Auf der Lithografieebene reicht bereits eine Abweichung der Backtemperatur um 0,5 °C aus, um ganze Chargen unbrauchbar zu machen. Bei der sanften Backung wird das Lösungsmittel gründlich entfernt; bei der intensiven Backung wird das Temperaturprofil festgelegt. Wenn die thermische Gleichmäßigkeit beeinträchtigt wird, versagt die Kontrolle über die Wellenlänge und die Anzahl der Partikel nimmt zu.

Was wir entwickelt haben – und warum das wichtig ist
Wir haben den Backmodul mit kurzwelligen NIR-Emittern kombiniert, die wiederum über ein Quarz-basiertes Heissystem arbeiten. Dadurch erreichen wir eine Temperaturregelmäßigkeit von ±0,1 °C über die gesamte Fläche des Waferträgers. Zudem bleibt die Setpunktregelung gleichbleibend – unabhängig von Zeit und Umständen. Das System ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet und erzeugt während des Backvorgangs keine Partikel. Die Temperaturprofile sind dabei immer reproduzierbar, wodurch die Vorgaben des Herstellers genau eingehalten werden können.

Spannungsregler für Fab IR

Tue, 09 Jun 2026 01:15:55 +0800

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Fotolack nicht optional – es ist eine Toleranz, nach der man lebt. Eine Drift von 0,5°C über den Wafer zeigt sich als Linienbreitenvariation nach der Belichtung, und das führt zu Ertragsverlust, ganz einfach. Wir haben unseren Spannungsregler für die Fertigung IR entwickelt, um das thermische Profil dort zu halten, wo es sein muss: stabil, wiederholbar und unter Kontrolle.

Was technisch wichtig ist
IR erhitzt schnell, das stimmt, aber es ist nur nützlich, wenn das Wärmefeld homogen ist. Unser Regler sorgt für eine präzise Spannungsregelung am IR-Emitter-Bus, sodass der Ausgang trotz Leitungsabsenkungen und Lastumschaltungen stabil bleibt. Sie erhalten eine Einheitlichkeit im Sub-Millimeter-Bereich über der heißen Zone und eine Stabilität des Sollwerts von ±0,1°C an der Waferoberfläche. Das ist kein Werbeslogan – es ist eine messbare Reduktion des thermischen Gradienten. Die Einheit ist reinraumkompatibel für Klasse 1–100, mit Materialien und Verpackungen, die darauf ausgelegt sind, die Partikelanzahl zu minimieren. Null Partikelerzeugung ist das Ziel, und wir verfolgen dies mit einer Prozessüberwachung.