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		<title>Kabel on Radiant Infrared Heating</title>
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				<title>Teflon Draht für Halbleiterheizung</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://radiant-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;Teflon Draht für Halbleiterheizung&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Auf dem Wafer-Floor werden Profile für das Photoresist-Backen in Grad gemessen, nicht nach Meinungen. Eine Abweichung von 2°C während des Softbake- oder Hardbake-Prozesses führt zu einer Störung der kritischen Dimensionskontrolle – und die Linie steht still. Wir haben Teflon-isolierte Heizleiterkabel eingebaut, um die thermische Kontrolle dort zu halten, wo sie sein muss: im Prozessfenster.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Technisch gesehen ist entscheidend, dass Teflon eine stabile Durchschlagsfestigkeit und geringe Ausgasung bei wiederholten thermischen Zyklen bietet. Das ist wichtig, wenn der Heizer einen hohen Duty Cycle fährt und mit dem Reinraum-Luftstrom sowie den Partikelbudgets kompatibel bleiben muss.&lt;/p&gt;</description>
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