Reflektor on Radiant Infrared Heating

Infrarotlampe mit Goldreflektor

Wed, 15 Jul 2026 10:42:39 +0800

Warum Gold-Reflektor-IR-Lampen die beste Lösung zum Trocknen von Halbleitern sind
Die Halbleiterindustrie strebt nach „grünen“ und bleifreien Standards. Das ist großartig – doch die alte Methode, nämlich den Einsatz großer Konvektionsöfen, ist pure Verschwendung. Man gibt viel Geld aus, um die Luft in einem riesigen Raum zu erhitzen, nur damit die Bauteile getrocknet werden können.

Wir machen es anders: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen mit Goldreflektoren. Anstatt den gesamten Raum zu erwärmen, lenken wir die Wärme direkt auf das Substrat. Keine Zwischenstationen – keine Energieverschwendung. Nur schnelle, direkte Wärme dort, wo sie benötigt wird.

Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Sat, 11 Jul 2026 05:18:02 +0800

Warum wir uns so sehr auf die elektrischen Tests für Reflektoren konzentrieren

Die Lampen zur Aushärtung der Siliziumwafer sind äußerst anspruchsvoll in Bezug auf die verwendeten Komponenten. Sie arbeiten mit extrem hohen Temperaturen und Spannungen – in diesem Bereich gibt es keine „kleinen“ Fehler. Ein winziger Isolationsfehler kann dazu führen, dass ein Controller beschädigt wird oder ganze Chargen von Siliziumwafern unbrauchbar werden.

Deshalb gehen wir kein Risiko ein. Jedes Gerät, das unser Werk verlässt, muss einer 100-prozentigen Prüfung auf Dielektrikfestigkeit und Isolationswiderstand unterzogen werden. Es gibt keine Ausnahmen.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sun, 28 Jun 2026 01:46:52 +0800

Auf der Lithografieanlage gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses des Fotolacks reicht aus, um einen stabilen Prozess in ein Problem zu verwandeln. Die Spezifikationen bezüglich der Temperatur während des Trocknungsprozesses werden deshalb streng eingehalten – schließlich bestimmt die Temperaturhomogenität die Genauigkeit der Linienbreite. Diese Kontrolle beginnt bereits bei dem IR-Lampensystem.

Was wirklich wichtig ist Wir wählen Aluminiumbeschichtungen für die IR-Lampen aus, damit eine wiederholbare und räumlich stabile Wärmeabgabe gewährleistet wird. Die Geometrie der Lampen ist so gestaltet, dass das Beleuchtungsprofil exakt auf die Waferfläche abgestimmt ist – mit einer Homogenität von ±0,1°C. Die Oberfläche ist außerdem passiviert und versiegelt, sodass sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden kann, ohne dass es zu Ausgasungen kommt.