Sensor on Radiant Infrared Heating

Präziser IR Sensor für Wafer

Sat, 25 Jul 2026 02:32:29 +0800

Aufhören mit dem Heizen der Luft – eine intelligente Methode zur Bearbeitung von Wafern
Sprechen wir über die alten Widerstandsofen. Sie funktionieren zwar, aber im Grunde handelt es sich dabei um riesige Raumheizungen. Man muss viel Geld ausgeben, um den gesamten Raum sowie die darin befindliche Luft zu erhitzen – nur damit der Wafer die richtige Temperatur erreicht. Das ist pure Verschwendung.

Deshalb haben wir auf Infrarotheizung umgestellt. Anstelle dazu, den ganzen Raum zu erwärmen, strahlen wir die Wärme direkt auf den Wafer ab. Dadurch wird weniger Energie verschwendet, und außerdem wird verhindert, dass der Reinraum unnötig Energie verbraucht.

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensor Wafers

Fri, 24 Jul 2026 09:26:24 +0800

Wie man MEMS-Wafer trocknet – ohne Probleme
Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass ein Tropfen Feuchtigkeit oder ein Rest an Lösungsmittel den gesamten Prozess ruinieren. Doch das Problem ist: Die Wafer müssen vollständig trocken sein – ohne dass das Material beeinträchtigt wird oder Schadstoffe eindringen können.

Deshalb verwenden wir Infrarotheizungen mit kurzer Wellenlänge. Anstatt den ganzen Raum zu erwärmen – was Zeit und Energie verschwendet – wird die Energie direkt auf die Oberfläche der Wafer gebracht. Das ist effizient und sauber.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 23 Jul 2026 09:47:55 +0800

Wir prüfen jeden einzelnen Sensor – ohne Ausnahmen.
In der Welt der Wafer-Fabriken reicht bereits ein kleiner elektrischer Leck, um eine ganze Charge Silizium zu vernichten. Das ist ein Albtraum, den niemand erleben möchte.
Deshalb führen wir keine „Stichprobenprüfungen“ durch. Wir prüfen nicht nur einige Stücke und hoffen auf das Beste. Jeder einzelne Sensor, der unser Werk verlässt, wird einer 100%-igen Untersuchung bezüglich der Spannungsbelastbarkeit sowie der Isolierfähigkeit unterzogen. Jeder einzige Sensor.

Die Realität des Durchbruchs der Isolation
Bei Wafer-Fertigungsanlagen herrschen extrem hohe Spannungen. Die Heizelemente befinden sich direkt neben den äußerst empfindlichen Halbleitersubstraten. In solchen Umgebungen muss die Isolierung absolut perfekt sein.
Um sicherzustellen, dass dies der Fall ist, setzen wir die Spannung weit über die normalen Betriebswerte hinaus. Wir suchen nach unsichtbaren Defekten – wie winzigen Löchern im Quarz oder einer leichten Degradation der Keramikstruktur. Wenn es auch nur zu einem kleinen Leck von wenigen Milliampern kommt, wird der Sensor entsorgt.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarot

Fri, 17 Jul 2026 01:59:10 +0800

Sicherheit bei der Verwendung von Infrarotstrahlung in der Nähe von Chemikalien
Seien wir ehrlich: Die Verwendung von Infrarotlampen in einer chemischen Reinigungsanlage ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer – buchstäblich. Mit brennbaren Lösungsmitteln und korrosiven Dämpfen hat man es hier zu tun – ein „Cocktail“, der nicht gut mit Elektrizität zusammenarbeitet. Ein kleiner Funke oder ein undichtes Gehäuse können bereits zu einer Katastrophe führen.

Deshalb konstruieren wir die Gehäuse für unsere Sensoren besonders sorgfältig – damit Ihre Anlage nicht explodiert.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Tue, 14 Jul 2026 11:57:48 +0800

Warum wir die Infrarot-Härtung für bleifreie Sensoren verwenden
Der Herstellungsprozess von Wasserstoff-Sensoren erfordert ein genaues Gleichgewicht zwischen verschiedenen Faktoren. Man braucht Wärme – aber diese muss genau richtig dosiert sein. Deshalb haben wir uns für die Infrarot-Härtung entschieden. Diese Methode erfüllt alle Anforderungen bezüglich „Bleifreiheit“ und „Umweltfreundlichkeit“, die die Halbleiterindustrie heutzutage stellt. Doch noch wichtiger ist: Die Infrarot-Härtung funktioniert ohne Probleme.

Stellen Sie sich einen herkömmlichen Konvektionsofen vor: Dabei wird ein riesiges Metallgehäuse erhitzt – doch die dabei entstehende Wärme dient nur dazu, einen winzigen Teil des Materials zu erwärmen. Das ist eine Verschwendung. Bei der Infrarot-Härtung hingegen wird die Wärme direkt auf das Substrat abgegeben – der Luft wird keine Bedeutung beigemessen.