Spannungsregler für Fab IR

Tue, 09 Jun 2026 01:15:55 +0800

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Fotolack nicht optional – es ist eine Toleranz, nach der man lebt. Eine Drift von 0,5°C über den Wafer zeigt sich als Linienbreitenvariation nach der Belichtung, und das führt zu Ertragsverlust, ganz einfach. Wir haben unseren Spannungsregler für die Fertigung IR entwickelt, um das thermische Profil dort zu halten, wo es sein muss: stabil, wiederholbar und unter Kontrolle.

Was technisch wichtig ist
IR erhitzt schnell, das stimmt, aber es ist nur nützlich, wenn das Wärmefeld homogen ist. Unser Regler sorgt für eine präzise Spannungsregelung am IR-Emitter-Bus, sodass der Ausgang trotz Leitungsabsenkungen und Lastumschaltungen stabil bleibt. Sie erhalten eine Einheitlichkeit im Sub-Millimeter-Bereich über der heißen Zone und eine Stabilität des Sollwerts von ±0,1°C an der Waferoberfläche. Das ist kein Werbeslogan – es ist eine messbare Reduktion des thermischen Gradienten. Die Einheit ist reinraumkompatibel für Klasse 1–100, mit Materialien und Verpackungen, die darauf ausgelegt sind, die Partikelanzahl zu minimieren. Null Partikelerzeugung ist das Ziel, und wir verfolgen dies mit einer Prozessüberwachung.

Spannung on Radiant Infrared Heating

Spannungsregler für Fab IR