Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 23 Jul 2026 09:47:55 +0800

Wir prüfen jeden einzelnen Sensor – ohne Ausnahmen.
In der Welt der Wafer-Fabriken reicht bereits ein kleiner elektrischer Leck, um eine ganze Charge Silizium zu vernichten. Das ist ein Albtraum, den niemand erleben möchte.
Deshalb führen wir keine „Stichprobenprüfungen“ durch. Wir prüfen nicht nur einige Stücke und hoffen auf das Beste. Jeder einzelne Sensor, der unser Werk verlässt, wird einer 100%-igen Untersuchung bezüglich der Spannungsbelastbarkeit sowie der Isolierfähigkeit unterzogen. Jeder einzige Sensor.

Die Realität des Durchbruchs der Isolation
Bei Wafer-Fertigungsanlagen herrschen extrem hohe Spannungen. Die Heizelemente befinden sich direkt neben den äußerst empfindlichen Halbleitersubstraten. In solchen Umgebungen muss die Isolierung absolut perfekt sein.
Um sicherzustellen, dass dies der Fall ist, setzen wir die Spannung weit über die normalen Betriebswerte hinaus. Wir suchen nach unsichtbaren Defekten – wie winzigen Löchern im Quarz oder einer leichten Degradation der Keramikstruktur. Wenn es auch nur zu einem kleinen Leck von wenigen Milliampern kommt, wird der Sensor entsorgt.

Temperatur on Radiant Infrared Heating

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge