
دست از هدر دادن انرژی در سیستمهای خشککن فابریکهای نیمههادی بردارید!
بیایید صادق باشیم: هدر دادن انرژی در فابریکهای نیمههادی، در واقع هدر دادن پول است؛ این امر تأثیر منفی زیادی بر هزینههای عملیاتی شما دارد.
مشکل اینجاست که اکثر بازتابندههای استاندارد، کارایی لازم را ندارند؛ آنها انرژی مادون قرمز را به همه جا پراکنده میکنند، در نتیجه بخش زیادی از انرژیای که پرداخت میکنید، هرگز به ویفر نمیرسد.
ما این مشکل را با استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا حل کردیم؛ به این ترتیب، انرژی در یک جهت خاص متمرکز میشود.
چرا طلا؟
اکثر مردم از آلومینیوم استفاده میکنند، اما آلومینیوم انرژی زیادی را جذب کرده و بقیه انرژی را به جهات مختلف پرتاب میکند. طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار کارآمد است.
در نتیجه، گرما به جای جذب شدن توسط دیوارههای محفظه، مستقیماً به سمت ویفر ارسال میشود؛ این کار باعث میشود گرمای لازم دقیقاً در محل مناسب قرار بگیرد. در نتیجه، از هر وات انرژی، بازدهی بیشتری خواهید داشت.
تنظیم صحیح دما
وقتی که تمرکز انرژی بهتر شود، دمای خشککردن ویفر نیز سریعتر افزایش مییابد. اما نمیتوانید انرژی را بیش از حد اعمال کنید؛ چون اگر گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش نشود، نقاط گرم ایجاد میشود و این امر منجر به تغییر شکل سیلیکون میشود. ما زمان زیادی را صرف اطمینان از توزیع یکنواخت انرژی میکنیم تا بتوانیم سرعت خشککردن را بدون ریسک افزایش دهیم.
مشکلات و راهحلها
مشکل اینجاست که لایههای طلا کمی گران هستند؛ آنها نمیتوانند در برابر مواد شیمیایی خورنده یا شستشوهای شدید مقاومت کنند. اگر فابریک شما پر از بخارات شیمیایی باشد، نیاز به یک سپر محافظ از جنس کوارتز دارید؛ این سپر مانند یک لباس ضدباران برای بازتابندهها عمل میکند. بدون آن، آلایندهها روی لایههای طلا تجمع میکنند و بازتابندگی آنها کاهش مییابد؛ در نتیجه، مجبور خواهید بود میزان انرژی مورد نیاز را افزایش دهید تا به حالت اولیه برگردید.
برای استفاده بهتر از این روش
استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا، روش سادهای برای کاهش مصرف انرژی است، بدون اینکه بازدهی حرارتی کاهش یابد. علاوه بر این، این روش فشار بر سیستمهای خنککننده فابریک را نیز کاهش میدهد.
اگر مطمئن نیستید، شاید بهتر باشد مجموعه لامپهای خود را بررسی کنید؛ ممکن است متوجه شوید که بازتابندههای فعلی شما، انرژی مورد نیاز برای خشککردن ویفر را جذب میکنند.