دیگر نیازی به گرم کردن هوا نیست؛ روشی هوشمندانهتر برای پردازش ویفرها
بیایید درباره فرهای قدیمی صحبت کنیم. البته این فرها کار میکنند، اما در واقع نوعی هیتر بزرگ هستند. شما مجبورید مقدار زیادی انرژی صرف گرم کردن کل اتاق و هوای موجود در آن کنید، تا ویفر به دمای مناسب برسد. این کار، هدر دادن انرژی است.
به همین دلیل، ما به استفاده از روش گرمایش مادون قرمز روی آوردهایم. به جای گرم کردن کل اتاق، گرما مستقیماً به ویفر منتقل میشود. این روش، تمیزتر، سریعتر است، و از هدر رفتن انرژی بیهوده جلوگیری میکند.
دستیابی به دمای دقیق
در این حوزه، اگر دما کمی اشتباه باشد، یک محموله کامل از سیلیکون به ضایعات گرانقیمت تبدیل خواهد شد. این چیزی است که هیچ کس نمیخواهد. ما از تابش موج کوتاه برای رساندن ویفر به دمای مورد نظر در عرض چند ثانیه استفاده میکنیم. از آنجایی که این گرما از طریق تابش ایجاد میشود، شما مجبور نیستید انرژی زیادی صرف گرم کردن بدنه دستگاه کنید. ما بر نسبت وات به سانتیمتر تأکید زیادی داریم؛ چون میخواهیم گرمای یکنواختی داشته باشیم، بدون هیچ نقطه گرم یا مشکلی.
تجهیزات پشت پرده
ما این دستگاهها را با فیلامنتهای تنگستن و کوارتز با خلوص بالا ساختهایم. اما نکته مهم این است که ما روکشهای خاصی روی کوارتزها اعمال میکنیم. چرا؟ چون میخواهیم ویفر انرژی را جذب کند، نه اینکه آن را مانند آینه منعکس کند.
ما این لامپها را با کنترلکنندههای PID هماهنگ میکنیم تا بتوانند به سرعت واکنش نشان دهند. شما میتوانید دما را به سرعت افزایش یا کاهش دهید. این کار باعث میشود کل فرآیند سریع و کنترلشده باشد.
معایب و راهحلها
البته، یک معایبی وجود دارد. دستگاههای گرمایش مادون قرمز با توان بالا، انرژی زیادی مصرف میکنند. این موضوع برای تولید تعداد بیشتری تراشه خوب است، اما فشار زیادی بر سیستم خنککننده وارد میکند. اگر سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این فشار نباشد، بدنه دستگاه بیش از حد گرم خواهد شد. در این صورت، حسگرها دچار اختلال میشوند و فیلامنتها نیز 손상 میشوند. شما باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این فشار باشد.
البته، این روش ارزشش را دارد. با حذف هدر رفت انرژی، هزینههای برقی شما کاهش مییابد و کمیت کربن تولیدی نیز کاهش مییابد. شما یک کارخانه «سبز» خواهید داشت که واقعاً کار میکند، بدون اینکه مجبور باشید در استانداردهای دقیقی که برای عملکرد صحیح تراشهها ضروری هستند، سازش کنید.