http://radiant-ir-heater.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Radiant Infrared Heating Hugo fa Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/fa/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/fa/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="پخت مؤثر فوتورزیست با مادون قرمز"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای حرارتی معادل ۰.۵ درجه سانتی‌گراد کافی است تا کل محموله محصولات از بین برود. فرآیند حرارتی نرم، به منظور خارج کردن کامل حلال‌ها از روی ویفر انجام می‌شود؛ در حالی که فرآیند حرارتی سخت، باعث تثبیت پروفایل حرارتی می‌شود. وقتی که یکنواختی حرارتی از بین برود، کنترل اندازه ذرات نیز دچار مشکل می‌شود و تعداد ذرات افزایش می‌یابد.</p> <p><strong>آنچه ما ساختیم، و چرا اهمیت دارد</strong><br> ما ماژول حرارتی را روی الکترومغناطیس‌های موج کوتاه NIR قرار دادیم؛ این کار باعث می‌شود یکنواختی حرارتی در سطح ویفر حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باشد. همچنین، پایداری دما نیز در طول شبانه‌روز حفظ می‌شود. این سیستم با استانداردهای اتاق‌های پاک از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، در حین فرآیند حرارتی، هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود. پروفایل حرارتی نیز به طور قابل تکراری در هر محموله محصولات حفظ می‌شود.</p>